久久亚洲精品天码av,午夜福利屄插穴,午夜福利视频91,亚欧美爽爽爽爽爽,亚洲欧美日韩色色图片,青青操在线观看,精品天堂麻豆av,无码av东京热,婷婷成人亚洲少妇

您好, 歡迎來到制藥網(wǎng)

| 注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏該商鋪

18961623302

technology

首頁   >>   技術(shù)文章   >>   干式真空泵內(nèi)凝結(jié)了顆粒物、可凝性氣體該如何解決

江陰天田真空設(shè)備制造有限...

立即詢價

您提交后，專屬客服將第一時間為您服務(wù)

干式真空泵內(nèi)凝結(jié)了顆粒物、可凝性氣體該如何解決

發(fā)布時間：2018-10-26
分享：
 在實際的干式真空泵應(yīng)用中，干式真空泵也分接觸型與非接觸型。因此在處理一些含顆粒物氣體過程中，并不是所有的干式真空泵都如螺桿真空泵、羅茨真空泵等非接觸型泵種一樣對顆粒氣體有良好耐受性，而是需要通過過濾設(shè)備來予以解決。那么干式真空泵內(nèi)凝結(jié)了顆粒物、可凝性氣體到底該如何解決呢？
1、適當(dāng)提高泵溫。物質(zhì)的升華、凝固是壓力與溫度的函數(shù)，隨物質(zhì)不同各有變化。因此提高泵內(nèi)溫度可以避免一些介質(zhì)在泵內(nèi)壓縮過程中發(fā)生氣固變相而形成顆粒物。如Al在刻蝕過程中生產(chǎn)的氯化鋁，在對應(yīng)壓力下，其在80℃就會開始?xì)饣虼嗽趯⒈脙?nèi)溫度保持在80℃就可有效避免氯化鋁的固化沉積。

2、降低會反應(yīng)氣體的濃度。單位時間內(nèi)氣體反應(yīng)生成顆粒數(shù)量與氣體濃度相關(guān)，所以在干式真空泵抽取這類氣體的工藝中可以通過充入惰性氣體，減少反應(yīng)氣體濃度來降低顆粒物的形成。這個方法也會用于泵內(nèi)溫度冷卻，防止介質(zhì)降解、聚合形成腐蝕性物質(zhì)等，也可以防止介質(zhì)達(dá)到著火極限等可能，如CVD工藝中可能的爆炸。

3、增加抽氣通道中的氣流速度。為防止處于懸浮狀態(tài)的固體顆粒物沉積，使氣體的流動速度大于顆粒物沉積的臨界速度，就可保證顆粒物隨氣流輸送排出，防止沉積。具體的方法與第2點一樣，在不影響真空泵的極限壓力的前提下，就是充入適量氣體。

會員登錄

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

標(biāo)簽：
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)

常用：

提示

您的留言已提交成功！我們將在第一時間回復(fù)您~
在線留言
大冶市| 陕西省| 平陆县| 沛县| 湘潭市| 昆明市| 鹤山市| 临沧市| 米泉市| 从江县| 班玛县| 仙游县| 乡宁县| 南溪县| 苍山县| 巨鹿县| 逊克县| 萨嘎县| 高青县| 射阳县| 嘉义县| 应城市| 湾仔区| 屯昌县| 昔阳县| 临武县| 桃园市| 蒙阴县| 上思县| 阿坝| 安溪县| 水城县| 大厂| 章丘市| 札达县| 湟源县| 沁水县| 胶州市| 远安县| 林周县| 马公市|