磁控濺射鍍膜的真空室內(nèi)用于檢測(cè)銀層鍍制的專用定制設(shè)備。

注：此產(chǎn)品必須配備Filmonitor6000分析基礎(chǔ)部分。

銀層是低輻射鍍膜玻璃最關(guān)鍵的功能膜層，其膜層的品質(zhì)狀況決定了銀膜層的紅外反射性能（輻射率），也就是最終產(chǎn)品的隔熱性能。銀膜層的鍍制不僅影響產(chǎn)品的節(jié)能品質(zhì)，同時(shí)貴金屬銀靶材的用量也關(guān)系到最終產(chǎn)品的制造成本。面電阻測(cè)量設(shè)備安裝于真空室內(nèi)，用于磁控濺射鍍膜中銀層的鍍膜監(jiān)控，一般安裝于銀層鍍膜后的位置。如三銀低輻射鍍膜可安裝三個(gè)面電阻探頭，鍍膜后可以依據(jù)面電阻值得變化情況，間接對(duì)于銀層的鍍膜密度、膜層厚度以及均勻性進(jìn)行監(jiān)控。通過面電阻和光學(xué)檢測(cè)的結(jié)合應(yīng)用，可以精確控制銀膜層的鍍制，從而保證最終低輻射鍍膜玻璃的品質(zhì)，節(jié)約生產(chǎn)成本。

測(cè)量對(duì)象

• Low-E鍍膜玻璃（尤其表面不導(dǎo)電的Low-E玻璃）
• TCO光伏玻璃、ITO玻璃、觸摸屏玻璃、LED發(fā)光玻璃
• 透明導(dǎo)電薄膜材料
• 人工合成金屬片及導(dǎo)電紙
• 其他導(dǎo)電和半導(dǎo)體材料

儀器功能

• 網(wǎng)格式快速自動(dòng)測(cè)量玻璃、薄膜等鍍膜產(chǎn)品的面電阻，并計(jì)算出面電阻平均值、各通道平均值、各通道縱向差值及橫向差值
• 實(shí)時(shí)顯示每一片被測(cè)產(chǎn)品面電阻各通道分布、各通道縱向差值及橫向差值，并繪出相應(yīng)測(cè)量結(jié)果的歷史趨勢(shì)曲線
• 豐富的品質(zhì)分析和報(bào)警閾值設(shè)定功能，可根據(jù)總平均值、橫向差值、縱向差值互相結(jié)合的方法進(jìn)行品質(zhì)評(píng)判
• 自動(dòng)存儲(chǔ)并管理測(cè)量結(jié)果，可以進(jìn)行數(shù)據(jù)庫查詢操作，數(shù)據(jù)可以導(dǎo)出給EXCEL等軟件進(jìn)行進(jìn)一步處理
• 根據(jù)生產(chǎn)線實(shí)際的生產(chǎn)情況，自動(dòng)舍棄無被測(cè)物的測(cè)量通道數(shù)據(jù)
• 軟件可設(shè)置多個(gè)不同等級(jí)的用戶，分別對(duì)應(yīng)不同的操作權(quán)限
• 打印測(cè)量數(shù)據(jù)，打印歷史趨勢(shì)數(shù)據(jù)及曲線