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適安佳(北京)生物科技有限公司

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大腔體雙靶磁控濺射儀 SSG-200A

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產(chǎn)品簡介

在封閉腔室中，放置陽極靶材，充入氣體，保持一定的真空度，在陽極和陰極之間加載高壓，會發(fā)生輝光放電現(xiàn)象。電離的氣體離子會轟擊、侵蝕陽極靶材。靶材原子會因此向四周擴散，在磁力的束縛下在一定范圍內(nèi)沉積，最終在樣品表面形成一個均勻的鍍層。這個鍍層可以抑制荷電，減小熱損傷，提高二次電子產(chǎn)率，從而改善掃描電鏡觀察效果。平時使用時，見靶材的是金靶。正是這個原因，離子濺射儀也俗稱噴金儀。然而，為了獲得更細小的......

詳細介紹

產(chǎn)品概述

技術(shù)參數(shù)

配置

詳細參數(shù)說明

樣品腔尺寸

直徑300mm*高度130mm

低真空度

極限真空度：＜0.1Pa，工作真空度：0-10Pa

高真空度

極限真空度：＜10-3Pa，工作真空度：0.1-2Pa

靶材尺寸

規(guī)格：直徑50mmx0.1mm厚，數(shù)量：2個

樣品臺轉(zhuǎn)速

4-20rmp

抽速

66L/min

濺射電流

1-500mA，連續(xù)可調(diào)

濺射時間

1-999s，連續(xù)可調(diào)

保護氣

氬氣

選型指南

SSG-200A

產(chǎn)品特點	0
樣品池尺寸（mm）	0
樣品池體積	0
泵參數(shù)	0

SSG-50A

產(chǎn)品特點	{"樣品池":"316L不銹鋼材質(zhì)，帶藍寶石視窗和照明","氣路控制":"耐高壓閥門和管路，精確的流量控制，排氣流速≤10ml/min。","溫度控制":"電加熱和內(nèi)置壓縮機制冷，自動溫控，精度：±1℃。","過濾系統(tǒng)":"內(nèi)置和外置0.5um精度高壓過濾器。","耐高壓管路":"316L不銹鋼材質(zhì)，精確設(shè)計，耐腐蝕和高壓。","臺式CO2高壓泵":"316L不銹鋼泵頭，藍寶石活塞，流速：0-100ml/min，壓力0 40Mpa ，內(nèi)置預冷罐為壓縮機制冷，無需冷水機。恒流恒壓模式可選，觸摸屏操作，壓力
樣品池尺寸（mm）	3530，6035，6050，10535， 115*50，其它尺寸可定制
樣品池體積	30，100，150，300，500mL
泵參數(shù)	壓力：0-20MPa，流速：0-100ml/min，500ml內(nèi)置前置制冷罐，7寸觸摸屏操作，壓力上限設(shè)置，恒流恒壓輸送模式

選型指南

產(chǎn)品特點

樣品池尺寸
（mm）

樣品池體積

泵參數(shù)

SSG-200A

SSG-50A

{"樣品池":"316L不銹鋼材質(zhì)，帶藍寶石視窗和照明","氣路控制":"耐高壓閥門和管路，精確的流量控制，排氣流速≤10ml/min。","溫度控制":"電加熱和內(nèi)置壓縮機制冷，自動溫控，精度：±1℃。","過濾系統(tǒng)":"內(nèi)置和外置0.5um精度高壓過濾器。","耐高壓管路":"316L不銹鋼材質(zhì)，精確設(shè)計，耐腐蝕和高壓。","臺式CO2高壓泵":"316L不銹鋼泵頭，藍寶石活塞，流速：0-100ml/min，壓力0 40Mpa ，內(nèi)置預冷罐為壓縮機制冷，無需冷水機。恒流恒壓模式可選，觸摸屏操作，壓力

35*30，60*35，60*50，105*35， 115*50，其它尺寸可定制

30，100，150，300，500mL

壓力：0-20MPa，流速：0-100ml/min，500ml內(nèi)置前置制冷罐，7寸觸摸屏操作，壓力上限設(shè)置，恒流恒壓輸送模式



關(guān)鍵詞：壓縮機過濾器高壓泵冷水機

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