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詳細介紹
一、立式接觸式干涉儀JDS-1參數
被測件長度： | 150 mm |
工作臺行程： | 5 mm |
測桿移動范圍： | 0.5mm |
分劃板刻度范圍： | ±50格 |
直接測量范圍： | 5-20μm |
分度值調整范圍： | 0.05-0.2 μm |
推薦使用分度值： | 0.1 μm |
測量壓力： | (1.5±0.1) N |
儀器示值穩(wěn)定性： | 0.02 μm |
儀器誤差： | ±（0.03+1.5ni △λ/λ）um n 是格數, i是格值,λ是濾光片中心波長，△λ是濾光片波長誤差 |
儀器體積： | 280×500×700 mm |
儀器重量： | 40 kg |
二、儀器標準配件：
1 | 1、五筋園臺 |
2 | 九筋瑪瑙臺 |
3 | 可調園平臺 |
4 | 輔助臺 |
5 | 平面測帽 Ф2 |
6 | 小球面測帽 |
7 | 干涉濾光片 |
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