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干式螺桿真空泵

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上海喆圖科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品描述：提供清潔無油的真空環(huán)境，適配腐蝕性氣體、可凝性蒸氣及含粉塵顆粒氣體的抽除場景，助力企業(yè)及科研實(shí)驗(yàn)實(shí)現(xiàn)高效生產(chǎn)與環(huán)保目標(biāo)。...

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品描述

干式螺桿真空泵/羅茨真空泵/真空泵/分子泵
用途概述
干式螺桿真空泵、羅茨真空泵、分子泵憑借其創(chuàng)新設(shè)計(jì)與性能，成為半導(dǎo)體、制藥、石化、化工等高要求行業(yè)的理想選擇。針對復(fù)雜真空工藝需求，該系列通過提供清潔無油的真空環(huán)境，適配腐蝕性氣體、可凝性蒸氣及含粉塵顆粒氣體的抽除場景，助力企業(yè)及科研實(shí)驗(yàn)實(shí)現(xiàn)高效生產(chǎn)與環(huán)保目標(biāo)。其廣泛適用于真空釬焊、鍍膜、退火、干燥等關(guān)鍵工藝，并在航空航天、電子、冶金、醫(yī)藥等領(lǐng)域推動技術(shù)升級，逐步替代傳統(tǒng)油封機(jī)械泵與液環(huán)泵，成為綠色智能制造的核心裝備，支持單機(jī)或多泵組合（如螺桿羅茨泵聯(lián)動）構(gòu)建干式真空泵機(jī)組。
產(chǎn)品特點(diǎn)
技術(shù)特點(diǎn)
※水冷循環(huán)散熱技術(shù)，可消除風(fēng)扇高速運(yùn)轉(zhuǎn)引發(fā)的空氣擾動揚(yáng)塵問題；
※工作腔內(nèi)無潤滑油，杜絕油氣污染，確保真空環(huán)境純凈度，顯著提升產(chǎn)品良率；
※工藝氣體回收利用率高，尾氣處理更便捷，助力企業(yè)降低環(huán)保成本，符合嚴(yán)苛排放標(biāo)準(zhǔn)；
智能操控
※泵腔及轉(zhuǎn)子表面可選配多種防腐涂層，耐受強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等惡劣介質(zhì)，使用壽命延長；
※多級螺旋轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)精準(zhǔn)適配腐蝕性氣體、可凝性蒸氣及含微粒粉塵的復(fù)雜氣體環(huán)境；
※間隙密封結(jié)構(gòu)對微小顆粒不敏感，直通式泵腔設(shè)計(jì)避免粉塵沉積，保障連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行；
高效節(jié)能
※優(yōu)化轉(zhuǎn)子平衡技術(shù)與多層減震結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)超低振動與低噪運(yùn)行；
※工作溫度低，有效較少冷卻水的消耗，契合綠色工廠低碳目標(biāo)，運(yùn)行噪聲低；
※螺桿嚙合傳動效率優(yōu)化，能耗較傳統(tǒng)泵有效降低，搭配智能變頻配置進(jìn)一步節(jié)能；
羅茨真空
※羅茨真空泵適用于蒸餾蒸發(fā)、冷凍干燥等含大量水蒸氣的復(fù)雜工況；
※當(dāng)作為前級泵時(shí)，可高效抽除水蒸氣混合氣體，保障生產(chǎn)流程的連續(xù)性與穩(wěn)定性；
※工作壓力范圍寬，可從大氣壓平滑過渡至高真空狀態(tài)，靈活適配多行業(yè)多階段工藝需求
可選配置
①氮?dú)獯祾撸横槍ι倭糠蹓m環(huán)境優(yōu)化，通過特殊密封結(jié)構(gòu)及氮?dú)獯祾哐b置，可耐受生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的細(xì)微顆粒（如硅粉、石墨粉塵），避免堵塞或磨損，顯著延長設(shè)備壽命，減少維護(hù)頻率，降低停機(jī)損失，為生產(chǎn)研發(fā)的連續(xù)性提供堅(jiān)實(shí)保障。
②PLC控制：可實(shí)時(shí)監(jiān)測真空度、壓力及生產(chǎn)負(fù)載變化，動態(tài)調(diào)節(jié)泵組轉(zhuǎn)速與功率輸出。
設(shè)備啟動迅速，可按需供能，既能避免過度抽氣造成的能源浪費(fèi)，又能為高敏感工藝營造穩(wěn)定真空環(huán)境，如在單晶硅拉制過程中，持續(xù)提供恒定低壓條件，確保晶體生長品質(zhì)。
③噪音控制：若工藝環(huán)境對噪音敏感（如實(shí)驗(yàn)室、精密車間等），可加裝消音器；
④鈑金外殼：提供防護(hù)（防塵、防濺）、提升設(shè)備整體美觀度及結(jié)構(gòu)強(qiáng)度；
技術(shù)參數(shù)

名稱	干式螺桿真空泵
型號	GLJ-S8	GLJ-S20	GLJ-S30	GLJ-S40	GLJ-S60	GLJ-S80
抽速	8m³/h	20m³/h	30m³/h	40m³/h	60m³/h	80m³/h
轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)	等徑變螺距	等徑變螺距	等徑變螺距	等徑變螺距	等徑變螺距	等徑變螺距
冷卻方式	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷
防腐涂層	特氟龍涂層（可選哈氏合金涂層）				特氟龍涂層（可選哈氏合金涂層）
極限壓力	≤1Pa				≤3pa
	≤1*10?²mbar				≤3*10?²Pa
	≤7.5*10?³Torr				≤2.25*10?²Torr
進(jìn)氣口	KF25		KF40		KF40
排氣口	KF16		KF25		KF40
電源電壓	380V 50Hz（可選220V 50Hz）				380V 50Hz（可選220V 50Hz）
功率	1100W	1100W	1100W	1500W	1500W	2200W
吹掃裝置	標(biāo)配	標(biāo)配	標(biāo)配	標(biāo)配	標(biāo)配	標(biāo)配
吹掃裝置壓力	1.5 ～2bar	1.5 ～2bar	1.5 ～2bar	1.5 ～2bar	1.5 ～2bar	1.5 ～2bar
吹掃裝置接口	6mm快插口	6mm快插口	6mm快插口	6mm快插口	6mm快插口	6mm快插口

產(chǎn)品名稱	羅茨真空泵
型號	極限壓力		抽氣速率	進(jìn)氣口徑	排氣口徑	溢流閥	功率	質(zhì)量
RZ-150	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	150L/s	100mm	100mm	無	2200W	180kg
RZ-300	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	300L/s	150mm	150mm	無	4000W	250kg
RZ-600	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	600L/s	200mm	200mm	無	7500W	550kg
RZ-1200	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	1200L/s	250mm	200mm	無	11000W	730kg
RZ-5000	0.8Pa	5 .6×10-³Pa	5000L/s	400mm	400mm	無	30000W	1800kg
RZP-70	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	70L/s	80mm	80mm	有	1100W	110kg
RZP-150	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	150L/s	100mm	100mm	有	2200W	190kg
RZP-300	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	300L/s	150mm	150mm	有	4000W	265kg
RZP-600	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	600L/s	200mm	200mm	有	7500W	570kg
RZP-1200	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	1200L/s	250mm	200mm	有	11000W	770kg
RZP-2500	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	2500L/s	320mm	320mm	有	18500W	1350kg

名稱	磁懸浮復(fù)合分子泵				超高真空復(fù)合分子泵
型號	MFX-1200	MFX-2700	MFX-3300	MFX-4500	MUX-7200	MUX-16200
抽速N2	1200L/s	2700L/s	3300L/s	4500L/s	2000L/s	4500L/s
壓縮比N2	＞ 1*10?	＞ 1*10?	＞ 1*10?	＞ 1*10?	1*10 ?
壓縮比H2	＞ 1*10³	＞ 1*10 ³	＞ 1*10 ³	＞ 1*10 ³	4*103
極限壓力	5*10??Pa	1*10 ? ?Pa	1*10?? Pa	1*10?? Pa	5*10?? Pa
出口(前級)壓力	1.5Torr	2Torr	2Torr	2Torr	2Torr	2Torr
轉(zhuǎn)速	36000rpm	27000rpm	27000rpm	24000rpm	24000rpm	21000rpm
進(jìn)氣口	ISO200	ISO250	ISO320	ISO400	ISO250	ISO400
排氣口	NW40				NW40
啟動時(shí)間	＜ 12min				＜ 10min
停止時(shí)間	＜ 16min				＜ 15min
電源電壓	380V 50Hz（可選220V 50Hz）				380V 50Hz（可選220V 50Hz）
功率	750W	1800W	1800W	1800W	1000W	1000W
冷卻水接口尺寸	ISO-Rc1 /4				ISO-Rc1 /4
冷卻水流量	3L/min				3L/min
冷卻水水溫	16～25°C				16～25°C
吹掃裝置管徑	NW16	NW10	NW10	NW10	NW10	NW10
吹掃裝置流量	30±10sccm	40±10sccm	40±10sccm	40±10sccm	40±10sccm	40±10sccm
通信接口	RS485	RS485	RS485	RS485	RS485	RS485