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行業(yè)產(chǎn)品

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凱瑞斯科技研究院（廈門）有限公司山東分公司


分子泵馬達(dá)

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參  考  價￥ 9800
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地日照市

聯(lián)系方式：李霞查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-10-19 11:03:10瀏覽次數(shù)：143次

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產(chǎn)品簡介
材質(zhì) 鋁合金 產(chǎn)地 國產(chǎn)
產(chǎn)品新舊 全新    

分子泵電機(jī)主軸
適用于:半導(dǎo)體制造(晶圓刻蝕、沉積)精密儀器(電子顯微鏡、質(zhì)譜儀)生物醫(yī)藥(真空凍干、細(xì)胞培養(yǎng))航天航空(空間環(huán)境模擬、推進(jìn)系統(tǒng)測試)
優(yōu)點·:無接觸高精度支撐:實現(xiàn)微米級運(yùn)行穩(wěn)定性低損耗高效傳動:減少能量浪費與發(fā)熱強(qiáng)環(huán)境與工況適應(yīng)性:耐受復(fù)雜負(fù)載與特殊場景

詳細(xì)介紹

分子泵電機(jī)主軸

適用于:半導(dǎo)體制造(晶圓刻蝕、沉積)精密儀器(電子顯微鏡、質(zhì)譜儀)生物醫(yī)藥(真空凍干、細(xì)胞培養(yǎng))航天航空(空間環(huán)境模擬、推進(jìn)系統(tǒng)測試)

優(yōu)點·:無接觸高精度支撐:實現(xiàn)微米級運(yùn)行穩(wěn)定性低損耗高效傳動:減少能量浪費與發(fā)熱強(qiáng)環(huán)境與工況適應(yīng)性:耐受復(fù)雜負(fù)載與特殊場景

1.磁懸浮分子泵是為滿足半導(dǎo)體刻蝕、離子注入、

薄膜沉積、太陽能光伏、鋰電負(fù)荷集流體、真空鍍膜、科學(xué)研究等領(lǐng)域開發(fā)的真空獲得設(shè)備

2.磁軸承控制技術(shù)：為五自由度電磁軸承，采用動態(tài)主動閉路磁浮控制技術(shù)，實現(xiàn)動態(tài)反應(yīng)迅速、調(diào)節(jié)及時，保證高速運(yùn)轉(zhuǎn)軸系具有懸浮穩(wěn)定、運(yùn)轉(zhuǎn)可靠等顯著優(yōu)點 

3.電機(jī)驅(qū)動控制技術(shù)：系列磁懸浮分子泵全部采用高效高速直流電機(jī)和伺服控制系統(tǒng)、軸系轉(zhuǎn)速自動補(bǔ)償，實現(xiàn)啟動平穩(wěn)、運(yùn)轉(zhuǎn)可靠、動態(tài)能量自動調(diào)節(jié)功能


關(guān)鍵詞：質(zhì)譜儀 電子顯微鏡

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