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邁浦特機(jī)械(四川)有限公司
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更新時間:2025-11-06 09:32:25瀏覽次數(shù):181次
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材料生長溫控高低溫一體機(jī),核心解決溫度波動導(dǎo)致的材料生長不均、晶型缺陷等問題。以硅油為介質(zhì),控溫精度 PID±0.1℃,覆蓋寬溫域適配不同材料生長需求。采用邁浦特PLC 系統(tǒng),支持 100 組可編程程序,實時顯溫 + 曲線,USB 導(dǎo)出數(shù)據(jù)。具備 10 重安全保護(hù),0-40℃環(huán)境 24 小時穩(wěn)定運(yùn)行,為材料生長實驗提供精準(zhǔn)溫控支撐。
低溫外延生長:-20℃~0℃±0.1℃(如某些半導(dǎo)體薄膜低溫外延,減少高溫對襯底的損傷);
常溫生長校準(zhǔn):25℃±0.1℃(基準(zhǔn)環(huán)境,校準(zhǔn)材料初始生長速率、純度等基礎(chǔ)參數(shù));
中溫晶體生長:80℃~150℃±0.1℃(如有機(jī)晶體生長,促進(jìn)分子有序排列);
高溫熔融生長:200℃~300℃±0.1℃(如某些氧化物陶瓷材料,滿足高溫熔融與結(jié)晶需求);
高低溫梯度生長:-30℃~200℃±0.1℃(構(gòu)建材料生長所需溫度梯度,誘導(dǎo)優(yōu)質(zhì)晶核生成)。
高效循環(huán)系統(tǒng):采用直接加熱(直接冷卻)方式,加熱功率 5.5~25kW 可按需適配(小型研發(fā)級材料生長選 5.5~10kW,量產(chǎn)級生長選 15~25kW)。加熱管選用 SUS316L 不銹鋼材質(zhì),法蘭型連接搭配陶瓷絕熱設(shè)計,熱效率達(dá) 95% 以上,減少熱量損耗;全密閉管道式設(shè)計結(jié)合高效板式熱交換器,降低硅油需求量的同時提升熱量利用率,快速響應(yīng)溫度調(diào)節(jié)需求,縮短生長準(zhǔn)備時間(如從常溫升至 200℃僅需 25 分鐘)。
低干擾設(shè)計:設(shè)備運(yùn)行噪音≤75dB、振動≤0.2mm/s,不會干擾材料生長過程中精密監(jiān)測設(shè)備(如激光干涉儀、XRD 衍射儀)的使用;膨脹箱內(nèi)硅油不參與循環(huán),溫度維持在常溫~60℃,減少硅油氧化與揮發(fā),避免揮發(fā)物混入生長體系影響材料純度,無需頻繁更換介質(zhì),降低生長中斷時間,契合連續(xù)化材料生長需求。
溫度與介質(zhì)保護(hù):循環(huán)硅油超材料生長安全溫度上限(如 300℃,防止材料碳化或結(jié)構(gòu)破壞)或低于下限(如 - 45℃,避免生長容器凍裂)時,自動切斷電源并聲光報警;液位開關(guān)實時監(jiān)測油位,缺油時立即停機(jī),避免油泵空轉(zhuǎn)損壞,同時防止溫控中斷導(dǎo)致未完成生長的高價材料(如半導(dǎo)體單晶、光學(xué)晶體)報廢。
動力與壓力保護(hù):瑞士 CARLO DPA51CM44 逆相保護(hù)器檢測電源相位,防止泵浦反轉(zhuǎn);德國西門子 3RU6116 熱繼電器保護(hù)泵浦與壓縮機(jī)超載,報警提示;系統(tǒng)壓力異常(高壓≥2.8MPa、低壓≤0.2MPa)時,自動停止加熱并啟動泄壓保護(hù),避免管路爆裂損壞生長設(shè)備;BY-PASS 泄壓回路防止管路阻塞(如雜質(zhì)堵塞)損壞泵浦,保障循環(huán)系統(tǒng)穩(wěn)定。
應(yīng)急保護(hù)功能:配備手動 / 自動排氣功能,快速排出系統(tǒng)內(nèi)空氣,確保溫控精度;緊急停止按鈕可在設(shè)備異常(如溫度驟升)時手動切斷運(yùn)行,適配無人值守的連續(xù)生長場景;短路(超溫)保護(hù)采用韓國 LS 空氣開關(guān),快速切斷故障電路,避免引發(fā)安全事故或生長數(shù)據(jù)丟失。
接口與布局定制:熱媒體進(jìn) / 出口管徑(內(nèi)螺紋 Rc1/2" 及其他規(guī)格可選)可根據(jù)生長設(shè)備(如小型生長爐、量產(chǎn)級反應(yīng)釜)接口規(guī)格定制,無需改造現(xiàn)有設(shè)備,降低安裝成本;可根據(jù)實驗室或車間空間(如狹小研發(fā)區(qū)、多生產(chǎn)線布局)定制機(jī)架尺寸,底部加裝萬向輪,便于設(shè)備移動與定位。
功能擴(kuò)展定制:針對高精度材料生長需求,可定制 ±0.05℃超高精度控溫模塊;針對高潔凈度要求(如半導(dǎo)體材料),可定制硅油超凈過濾模塊(過濾精度≥1μm);針對遠(yuǎn)程運(yùn)維需求,可選配以太網(wǎng)通訊功能,實現(xiàn)與遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)聯(lián)動,適配多場地協(xié)同生產(chǎn)或研發(fā)。
| 參數(shù)類別 | 具體參數(shù) |
|---|---|
| 電源規(guī)格 | 3N-380V-50Hz(允許電壓波動 ±10%,相間電壓差 ±2%) |
| 總電功率 | 9.5~37kW(380V 3N) |
| 熱媒體 | 硅油(耐 - 45℃~300℃,低揮發(fā)、抗老化,與生長材料無兼容性風(fēng)險) |
| 控溫范圍 | -45℃~300℃ |
| 控溫精度 | PID±0.1℃ |
| 控溫方式 | 邁浦特 PLC 系統(tǒng),9 組獨立 PID 分段控溫,加熱冷卻雙 PID 控制,溫度切換功能 |
| 加熱功率 | 5.5~25kW(可選購,適配不同生長規(guī)模) |
| 制冷量 | -40℃:0.9~4.7kW;-20℃:2.9~16kW;0℃/20℃/300℃:5.5~25kW(可選購) |
| 循環(huán)泵 | 邁浦特定制磁力油泵,耐溫 - 110℃~350℃,日本 NSK 軸封(揚(yáng)程、流量可定制) |
| 主管路材質(zhì) | 不銹鋼,無縫氬弧焊接工藝 |
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥或毛細(xì)管 |
| 安全保護(hù) | 溫度異常、電源逆相、泵浦超載、缺油、壓力異常、管路阻塞等 10 重保護(hù) |
| 數(shù)據(jù)功能 | 7 寸觸摸顯示屏(實時溫度 + 曲線顯示),USB 導(dǎo)出 24 個月數(shù)據(jù),Modbus RS485 通訊 |
| 工作環(huán)境 | 溫度 0-40℃,相對濕度 50%-80%,無腐蝕性氣體、低粉塵(符合材料生長要求) |
| 設(shè)備特性 | 低振動(≤0.2mm/s)、低噪音(≤75dB)、全密閉循環(huán)(防材料污染) |
電源配置:需使用三相 380V 50Hz + 地線,建議采用 3xmm2+1xmm2 銅芯電纜線(由需方自備),電纜規(guī)格根據(jù)設(shè)備總功率匹配(如 9.5kW 機(jī)型選 3x4mm2+1x2.5mm2),確保電源輸出穩(wěn)定,避免電壓波動影響溫控精度。
管路連接:熱媒體出入口建議采用不銹鋼硬管連接,需跨越生長區(qū)域時可配備耐高溫不銹鋼軟管(長度≤3 米,由需方自備)并加裝保溫管(厚度≥20mm),減少熱損耗;水冷機(jī)型需接入潔凈冷卻水(溫度≤20℃,壓力 0.15-0.3MPa),冷卻水需為不含懸浮物的潔凈水(PH 值 7.5-8.5,水硬度<200mg/L 以 CaCO?計),防止換熱器結(jié)垢影響換熱效率。
調(diào)試條件:在硅油、電供應(yīng)正常且與生長設(shè)備連接完成后調(diào)試,先空載試運(yùn)行 24 小時,確認(rèn)控溫精度、循環(huán)穩(wěn)定性及安全保護(hù)功能正常;再帶載調(diào)試(用模擬生長工裝測試熱負(fù)荷),驗證生長區(qū)域溫場均勻性達(dá)標(biāo)(各點溫差≤±0.5℃)后,方可投入正式材料生長。











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