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蘇州芯矽電子科技有限公司


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全自動(dòng)8寸槽式濕法清洗機(jī) 芯矽科技

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

聯(lián)系方式：陳經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2026-10-08 14:50:11瀏覽次數(shù)：2次

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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：165條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：陳經(jīng)理 （銷售）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn) 產(chǎn)品新舊 全新

芯矽科技全自動(dòng)8寸槽式濕法清洗機(jī)，專為半導(dǎo)體、光伏行業(yè)設(shè)計(jì)，適用于8英寸晶圓、硅片等精密材料的高效濕法清洗。設(shè)備集成化學(xué)清洗、超聲波輔助、噴淋漂洗及干燥模塊，通過(guò)PLC智能控制實(shí)現(xiàn)全程自動(dòng)化，確保納米級(jí)清潔度。模塊化設(shè)計(jì)支持靈活工藝組合，耐腐材質(zhì)與廢液回收系統(tǒng)兼顧安全與環(huán)保，廣泛應(yīng)用于IC制造、功率半導(dǎo)體等高要求場(chǎng)景。

詳細(xì)介紹

在半導(dǎo)體與光伏產(chǎn)業(yè)向高精度、高可靠性方向發(fā)展的進(jìn)程中，芯矽科技全自動(dòng)8寸槽式濕法清洗機(jī)成為保障產(chǎn)品良率的關(guān)鍵設(shè)備。該設(shè)備專為8英寸（200mm）晶圓、硅片、石英件等精密材料設(shè)計(jì)，通過(guò)多槽模塊化工藝與智能控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高效、均勻的濕法清洗，滿足納米級(jí)潔凈度要求，廣泛應(yīng)用于IC制造、功率半導(dǎo)體、光刻工藝前后道等核心場(chǎng)景。

設(shè)備核心采用 “全流程自動(dòng)化 + 多工藝集成" 設(shè)計(jì)：搭載 PLC 控制系統(tǒng)與觸摸屏，支持清洗時(shí)間、溫度、噴淋壓力等參數(shù)一鍵調(diào)整，搭配RFID工件識(shí)別技術(shù)，可自動(dòng)匹配工藝參數(shù)并實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)追溯；可選配 MES系統(tǒng)對(duì)接，實(shí)時(shí)上傳數(shù)據(jù)至生產(chǎn)平臺(tái)，滿足智能化管理需求。工藝槽采用預(yù)清洗、酸洗（去氧化層）、堿洗（除膠 / 有機(jī)物）、漂洗、干燥的多槽聯(lián)動(dòng)設(shè)計(jì)，獨(dú)立控溫系統(tǒng)（精度 ±0.5℃）適配不同化學(xué)品工藝，40kHz高頻超聲模塊可清除微小顆粒及縫隙污染物，噴淋與浸泡結(jié)合的方式確保正反面均勻清洗。

性能優(yōu)勢(shì)突出：高壓噴淋與液體循環(huán)系統(tǒng)提升清洗效率，二級(jí)RO/DI水漂洗（電導(dǎo)率≤0.1μS/cm）杜絕殘留，熱風(fēng) + 真空干燥組合實(shí)現(xiàn) Class 10 潔凈等級(jí)；槽體采用PFA/PP耐腐蝕材質(zhì)，配備廢液分類回收系統(tǒng)與密閉排風(fēng)設(shè)計(jì)，兼顧環(huán)保與安全。設(shè)備支持24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行，單次可處理多片晶圓，清洗周期≤15分鐘/批，同時(shí)提供工藝定制服務(wù)，可根據(jù)客戶需求調(diào)整槽體功能與配方，是半導(dǎo)體及精密制造領(lǐng)域的理想選擇。

關(guān)鍵詞：清洗機(jī)

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