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蘇州芯矽電子科技有限公司


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濕法清洗工藝設備 芯矽科技

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產品型號

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地蘇州市

聯(lián)系方式:陳經理查看聯(lián)系方式

更新時間:2026-08-19 16:00:06瀏覽次數(shù):70次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:159條

所在地區(qū):江蘇蘇州市

聯(lián)系人:陳經理 (銷售)

產品簡介
產地 國產 產品新舊 全新

芯矽科技專注半導體濕法清洗工藝設備研發(fā),核心產品涵蓋槽式、單片清洗機及高純化學品供應系統(tǒng)等,適配4-12英寸晶圓全場景。設備融合超聲、兆聲波等多元技術,高效清除納米級污染物,良率超99.5%,兼具環(huán)保節(jié)能優(yōu)勢。已獲長江存儲、中芯國際等頭部客戶認可,以自主技術、高性價比打破國外壟斷,助力半導體裝備國產化。

詳細介紹

芯矽科技作為半導體濕法清洗工藝設備的企業(yè),深耕行業(yè)多年,以自主創(chuàng)新為核心,專注于為半導體制造提供從實驗室研發(fā)到全自動量產的全場景清洗解決方案。公司核心產品矩陣豐富,涵蓋槽式清洗機、單片清洗機、高純化學品供應回收系統(tǒng)等,全面適配4-12英寸晶圓的多元需求,無論是小批量精細研發(fā),還是大規(guī)模量產,均能精準適配。

在技術層面,設備深度融合化學與物理協(xié)同清洗技術,依托RCA標準流程,結合超聲波、兆聲波空化效應與高壓噴淋,高效剝離納米級顆粒,顆粒去除率超97%,可滿足3nm以下制程及高深寬比結構的潔凈要求。智能化方面,搭載PLC系統(tǒng),實現(xiàn)全流程自動化,溫控精度達±0.1℃,支持工藝配方存儲與數(shù)據(jù)追溯,保障工藝穩(wěn)定性。

憑借模塊化設計、環(huán)保節(jié)能及高穩(wěn)定性優(yōu)勢,芯矽科技的設備已獲長江存儲、中芯國際等頭部客戶認可,以自主技術打破國外壟斷,兼具成本優(yōu)勢,成為國產替代核心力量,為半導體產業(yè)筑牢潔凈根基,助力中國半導體裝備國產化邁向新高度。

關鍵詞:清洗機

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