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外延片清洗機 芯矽科技

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產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

聯(lián)系方式：陳經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間：2026-08-17 16:50:02瀏覽次數(shù)：107次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：162條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：陳經(jīng)理 （銷售）

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 國產(chǎn) 產(chǎn)品新舊 全新

芯矽科技深耕半導(dǎo)體清洗領(lǐng)域，其外延片清洗機是半導(dǎo)體制造核心設(shè)備。它融合濕法、超聲波等清洗技術(shù)，精準(zhǔn)去除外延片表面顆粒、有機物及金屬離子等污染物，保障晶圓潔凈度。設(shè)備具備自動化設(shè)計，支持多尺寸晶圓，配備智能控制與安全防護系統(tǒng)，高效提升清洗效率與穩(wěn)定性，為集成電路、功率器件等領(lǐng)域筑牢工藝基礎(chǔ)。

詳細(xì)介紹

芯矽科技深耕半導(dǎo)體濕法清洗領(lǐng)域，其外延片清洗機作為半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備，憑借技術(shù)為行業(yè)筑牢工藝根基。該設(shè)備融合濕法清洗、超聲波、兆聲波及等離子體等多元技術(shù)，精準(zhǔn)去除外延片表面顆粒、有機物、金屬離子及氧化層等污染物，可實現(xiàn)納米級潔凈度，適配硅片、GaN/SiC等化合物半導(dǎo)體多元清洗需求。

設(shè)備采用全流程閉環(huán)設(shè)計，預(yù)清洗、主清洗、漂洗、烘干多槽聯(lián)動，各槽體獨立控溫控流，一站式自動化運作規(guī)避二次污染，大幅提升清洗效率。同時，配備智能控制系統(tǒng)，支持PLC精準(zhǔn)調(diào)控溫度、時間等參數(shù)，搭配自動化傳輸與安全防護設(shè)計，兼容2-12英寸晶圓，適配集成電路、功率器件、光通信等多領(lǐng)域需求。

依托模塊化定制與全周期服務(wù)，芯矽科技外延片清洗機兼顧高效與可靠，打破海外壟斷，助力產(chǎn)業(yè)鏈自主可控，為半導(dǎo)體制造高質(zhì)量發(fā)展提供堅實支撐。

關(guān)鍵詞：清洗機

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