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蘇州芯矽電子科技有限公司


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KOH刻蝕清洗機 芯矽科技

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產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

聯(lián)系方式:陳經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間:2026-06-23 17:03:18瀏覽次數(shù):182次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:165條

所在地區(qū):江蘇蘇州市

聯(lián)系人:陳經(jīng)理 (銷售)

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 國產(chǎn) 產(chǎn)品新舊 全新

芯矽科技KOH刻蝕清洗機,依托自主研發(fā)的濕法清洗技術,適配4-12英寸晶圓,融合超聲波、兆聲波等多元清洗手段,可精準調(diào)控KOH溶液參數(shù),高效清除亞微米級顆粒,適配制程。搭載PLC+AI算法,溫控精度達±0.1℃,兼具環(huán)保與高效,已服務長江存儲等主流晶圓廠,助力國產(chǎn)半導體設備自主可控。

詳細介紹

芯矽科技KOH刻蝕清洗機,是蘇州芯矽電子科技有限公司自主研發(fā)的半導體濕法工藝核心設備,深度融合化學刻蝕與物理清洗技術,為芯片制造提供高精度、高可靠性的潔凈保障。

該設備以精準化學配比與智能物理協(xié)同為核心,通過KOH等刻蝕液的選擇性反應,實現(xiàn)硅片各向異性刻蝕,滿足淺溝槽隔離、柵極氧化層開孔等關鍵制程需求;集成超聲波與兆聲波技術,借助空化效應高效剝離納米級顆粒,攻克3D NAND溝槽、TSV深孔等高深寬比結構清洗難題。設備搭載智能溫控系統(tǒng),溫控精度達±0.5℃,配合PLC+AI算法實時監(jiān)測pH值、ORP電位及顆粒濃度,動態(tài)優(yōu)化工藝參數(shù),確保刻蝕均勻性與良率。

產(chǎn)品采用模塊化設計,支持預洗、主刻蝕、漂洗、干燥全流程自動化,適配8-12英寸晶圓批量處理,兼容硅片、化合物半導體等多種材料。反應腔體選用PFA/PTFE耐腐蝕材質(zhì),搭配微流量噴淋與旋轉卡盤,保障晶圓處理均勻性;同時配備廢液中和回收系統(tǒng),符合國際環(huán)保標準。

目前,設備已廣泛應用于半導體前道制造、封裝、光伏、MEMS等領域,成功服務于長江存儲、中芯國際等頭部企業(yè),憑借性能與成本優(yōu)勢打破國外壟斷,以持續(xù)創(chuàng)新助力半導體產(chǎn)業(yè)自主可控發(fā)展。


關鍵詞:清洗機

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