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SDS供液系統(tǒng) 芯矽科技

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產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

聯(lián)系方式：陳經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-12-08 14:07:07瀏覽次數(shù)：302次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：162條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：陳經(jīng)理 （銷售）

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 國產(chǎn) 產(chǎn)品新舊 全新

SDS自動供液系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造中用于化學(xué)液體精準(zhǔn)輸送的模塊化設(shè)備，通過泵力、重力或氣壓驅(qū)動，實現(xiàn)研磨液、清洗液等化學(xué)品的本地化供應(yīng)。其核心功能包括高精度配比（±3%誤差內(nèi)）、動態(tài)流量控制以及多級過濾體系，確保納米級工藝穩(wěn)定性。系統(tǒng)集成智能控制模塊，支持配方存儲、實時監(jiān)測與漏液防護，適配CMP拋光、晶圓清洗等場景，兼具節(jié)能設(shè)計與危廢減排能力，推動綠色制造升級。

詳細(xì)介紹

SDS（自動供液系統(tǒng)）是半導(dǎo)體制造中用于化學(xué)液體精準(zhǔn)輸送的模塊化設(shè)備，其技術(shù)架構(gòu)與功能設(shè)計深度適配納米級工藝需求。以下從多維度展開解析：

系統(tǒng)架構(gòu)

模塊化設(shè)計：由儲液罐、高精度計量泵、過濾器集群、溫度控制系統(tǒng)、傳感器陣列及控制單元構(gòu)成。采用無脈動柱塞泵與質(zhì)量流量計組合，流量范圍覆蓋0.1~5L/min，波動值≤±1%，保障不同工藝階段的一致性35。雙通道冗余設(shè)計實現(xiàn)故障無縫切換，減少停機損失。

材料兼容性：接觸液體的部分普遍采用PFA或經(jīng)過電解拋光的316L不銹鋼材質(zhì)，既能抵抗腐蝕性化學(xué)品侵蝕，又能避免金屬離子析出污染產(chǎn)品1。對于EUV光刻等極低金屬污染環(huán)境，引入全氟密封件與惰性氣體覆蓋層，將雜質(zhì)水平控制在PPb級以下。

分級過濾策略：前置5μm囊式過濾器攔截大顆粒物，中間0.1μm中空纖維膜去除微小雜質(zhì)，終端采用孔徑小于10nm的陶瓷膜進行最終凈化。配合在線激光粒子計數(shù)器實時監(jiān)控，確保輸出液體中≥50nm的顆粒數(shù)量少于每毫升1個。

動態(tài)控制技術(shù)

壓力與溫度閉環(huán)：壓力傳感器實時反饋管路壓差，結(jié)合PID算法自動調(diào)節(jié)背壓閥開度，將晶圓厚度偏差(TTV)控制在±0.5μm內(nèi)35。Peltier半導(dǎo)體制冷片結(jié)合螺旋盤管換熱器，實現(xiàn)18~35℃精確控溫，避免熱沖擊損傷拋光墊。

智能配方管理：PLC控制系統(tǒng)支持多組工藝參數(shù)存儲，HMI界面可快速切換研磨方案，歷史數(shù)據(jù)追溯功能記錄流量、溫度及報警事件，優(yōu)化工藝路徑35?；跈C器學(xué)習(xí)的流量預(yù)測模型能預(yù)判過濾器堵塞周期并提前啟動備用通道。

防污染與安全設(shè)計

抑制結(jié)晶沉積：在原料桶及混合槽內(nèi)注入濕度≥95%的濕氮氣，抑制HF類研磨液結(jié)晶沉積3。雙層管道防護(PFA內(nèi)管+C-PVC外管)配合漏液傳感器實時報警。

交叉污染防控：以封裝中的TSV硅通孔清洗為例，SDS系統(tǒng)需要交替輸送DHF和臭氧水進行各向同性刻蝕后的殘渣清除。此時系統(tǒng)的多重隔離閥組發(fā)揮關(guān)鍵作用:通過氣動執(zhí)行器驅(qū)動的三偏心蝶閥實現(xiàn)不同化學(xué)管路的零交叉污染切換，配合中間沖洗水槽的氮氣吹掃程序，成功將交叉污染概率控制在10??級別以下。

創(chuàng)新應(yīng)用

制程適配：針對3D NAND多層堆疊結(jié)構(gòu)，開發(fā)低粘度研磨液配合脈沖供液模式，解決深寬比>10:1的溝槽填充難題，介質(zhì)均勻性提升40%，缺陷密度降至0.02個/cm2。扇出型封裝(Fan-out WLP)中，微滴噴射技術(shù)將研磨液粒徑控制在50nm以下，芯片厚度公差±2μm。

綠色制造實踐：透析反滲透技術(shù)分離廢液中的重金屬離子(螯合沉淀)與有機水相(濃縮結(jié)晶)，危廢減量75%，單片成本下降0.3美元；變頻電機節(jié)能30%，年省電費約5萬元。

綜上所述，隨著摩爾定律向3nm以下節(jié)點演進，SDS系統(tǒng)正朝著AI驅(qū)動的自適應(yīng)控制、納米氣泡增強技術(shù)等方向突破，助力半導(dǎo)體行業(yè)開啟原子級制造新紀(jì)元。


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