石英晶體振蕩微量水分析儀DP3202

石英晶體振蕩微量水分析儀是埃登威公司的全新產(chǎn)品，可測(cè)量半導(dǎo)體電子行業(yè)超純氣體，高純氣體及新材料中需要測(cè)量ppb的微量水含量，露點(diǎn)值低至-120度以下的應(yīng)用，石英晶體振蕩微量水分析儀相對(duì)相對(duì)傳統(tǒng)的五氧化二磷和三氧化二鋁露點(diǎn)儀來說，擁有更高的精度，準(zhǔn)確度和響應(yīng)時(shí)間快，不受氣體組分的干擾。ppb微量水分析儀

晶體振蕩傳感器工作原理：
晶體振蕩露點(diǎn)傳感器采用石英晶體作為敏感元件，并在其表面覆蓋一層親水物質(zhì)。當(dāng)被測(cè)氣體通過傳感器時(shí)，石英晶體的振蕩頻率發(fā)生變化，利用從濕性環(huán)境到干性環(huán)境下振蕩頻率的差值對(duì)檢測(cè)樣品中的微量水含量進(jìn)行比例分析。
儀器的抗腐蝕性強(qiáng)，能迅速檢測(cè)酸性氣體中的露點(diǎn)，相對(duì)傳統(tǒng)的五氧化二磷和三氧化二鋁露點(diǎn)儀來說，擁有更高的精度，準(zhǔn)確度和響應(yīng)時(shí)間快，不受氣體組分的干擾。

采用鮮進(jìn)的石英晶體振蕩微平衡技術(shù)的這款埃登威微量水分析儀具有高可靠性，響應(yīng)速度快和精度高的優(yōu)勢(shì)。

技術(shù)指標(biāo)

石英晶體振蕩微量水分析儀QZ3202性能

測(cè)量技術(shù)快速響應(yīng)的石英晶振技術(shù)

范圍校驗(yàn)范圍 0.01 到 1000ppmv

精度0.01 ppmV （ 0.1 ~ 1 ppmV）

讀數(shù)的 ±10%（1 ~ 1000 ppmV）

重復(fù)性±0.01 ppmV （ 0.1 ~ 1 ppmV）

讀數(shù)的±5% （ 1 ~ 2000 ppmV）

測(cè)量單位ppmV, ppmW, mg/nm3,Dew point (°C), lb/MMscf

響應(yīng)速度T63 <2 分鐘

T95 <5 分鐘

靈敏度0.1 ppmV 或讀數(shù)的1%，取較大值

自我校驗(yàn)內(nèi)置濕度發(fā)生器作為標(biāo)準(zhǔn)源

校驗(yàn)可溯源到 NPL & NIST

靈敏度0.1ppmv 或 1% 讀數(shù)，取**

石英晶體振蕩微量水分析儀DP3202顯示

HMI7" 色 LCD 觸摸屏

模擬輸出2 路可選4–20 mA 或1 到 5 V

數(shù)字輸出基于USB 和 ModBus TCP上的Ethernet傳輸

數(shù)據(jù)記錄直接記錄到 SD 卡或通過 PC 應(yīng)用軟件傳輸

報(bào)警1 x 系統(tǒng)警報(bào)，干接點(diǎn)(FORM C)

1 x 流量警報(bào)，干接點(diǎn) (FORM C) 可設(shè)置高報(bào)或低報(bào)

2 x 限值警報(bào)， ppmV 或 DP，可設(shè)置高報(bào)或低報(bào)

電源85 ~ 264 V AC, 47/63Hz

石英晶體振蕩微量水分析儀DP3202工作條件

進(jìn)氣壓力1 barg

出氣壓力大氣壓

樣氣流量300ml/分鐘 總流量 @ 大氣壓

樣氣溫度0 ~ +100°C

工作環(huán)境室內(nèi)：+5 ~ +46°C，**達(dá)到90% RH

機(jī)械性能

氣體接口1/4" VCR Swagelok®

重量10.5kg

更多石英晶體振蕩微量水分析儀DP3202信息請(qǐng)直接致電埃登威中，西門子U23分析儀