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SFC5000系列氣體質(zhì)量流量控制器有助于實現(xiàn)寬動態(tài)測量范圍內(nèi)極其**和可重復(fù)的控制。氣體質(zhì)量流量控制器的出色性能基于Sensirion**的CMOSens®技術(shù)，它在一個CMOS硅芯片上集成了高精度傳感器元件和模擬/數(shù)字信號處理電路。在芯片上，傳感器信號被直接轉(zhuǎn)換成校準，帶溫度補償?shù)臄?shù)字信號。該質(zhì)量流量控制器具有模擬和數(shù)字接口。此外，它們實現(xiàn)了新的可選功能，如多氣體測量、氣體識別和自檢能力。SFC5000系列氣體質(zhì)量流量控制器是整個工業(yè)和醫(yī)療市場各種應(yīng)用的理想解決方案。

 

SFC5000系列氣體質(zhì)量流量控制器特性

• 高精度和可重復(fù)性

• 優(yōu)異的長期穩(wěn)定性和可靠性

• 寬動態(tài)范圍（量程比1000:1）

• 超快氣體流量控制（穩(wěn)定時間小于50毫秒）

• 多氣體、多量程可選和氣體識別功能

• 數(shù)字和模擬接口

• 靈活的機械接頭選項：鈑金式安裝、VCR和VCO，Swagelok、C-/W-Seal等。

• 校準可追溯至NIST標準

• 源于**CMOSens® 技術(shù)的杰出價值

• 可根據(jù)要求提供定制化產(chǎn)品

SFC5000系列氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用領(lǐng)域

• 分析儀器（如氣相色譜、質(zhì)譜）

• 醫(yī)療設(shè)備（如、麻醉）

• 工業(yè)過程自動化（如涂層、熱處理）

• 半導(dǎo)體行業(yè)（如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積）