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半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀

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產(chǎn)品簡介

半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀采用對水分敏感的石英晶體微平衡傳感器,簡稱石英振蕩傳感器,具有抗污染,無漂移等優(yōu)點(diǎn),測試范圍可低至-120度露點(diǎn)儀,也就是ppb微量水分析儀,半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀在半導(dǎo)體高純氣體,新材料特種氣體及研發(fā)機(jī)構(gòu)中應(yīng)用廣泛,是為數(shù)不多的石英振蕩技術(shù)實(shí)力派之一。

詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀

半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀采用對水分敏感的石英晶體微平衡傳感器,簡稱石英振蕩傳感器,具有抗污染,無漂移等優(yōu)點(diǎn),測試范圍可低至-120度露點(diǎn)儀,也就是ppb微量水分析儀,半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀在半導(dǎo)體高純氣體,新材料特種氣體及研發(fā)機(jī)構(gòu)中應(yīng)用廣泛,是為數(shù)不多的石英振蕩技術(shù)實(shí)力派之一。石英晶體振蕩露點(diǎn)儀


  1. 半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀特點(diǎn)
  2. 全量程從0.001 ~ 2000 ppmV 范圍,實(shí)現(xiàn)高精度的測量
  3. 使用簡便,現(xiàn)場維護(hù)方便快捷,維護(hù)成本低
  4. 精度高達(dá) 0.01ppmV,取較大值
  5. 半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀針對變化中取樣條件進(jìn)行可靠的測量 — 根據(jù)樣氣壓力和流量的變化進(jìn)行自動調(diào)整

  6. 不受背景氣體組分改變的影響
  7. 維護(hù)間隔時(shí)間長
  8. 十分鐘時(shí)間就可以替換干燥筒
  9. 直觀的菜單界面
  10. Ethernet 或者 USB 數(shù)字通訊
  11. SD 卡數(shù)據(jù)記錄
  12. SD 可選內(nèi)置取樣系統(tǒng)和旁路

 

三、半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

 

性能  
測量技術(shù) 快速響應(yīng)的石英晶振技術(shù)
范圍 校驗(yàn)范圍 0.1 到 2000ppmv
精度 0.01 ppmV ( 0.001 ~ 1 ppmV)
讀數(shù)的 ±10%(1 ~ 2000 ppmV)
重復(fù)性 ±0.01 ppmV ( 0.1 ~ 1 ppmV)
讀數(shù)的±5% ( 1 ~ 2000 ppmV)
測量單位 ppmV, ppmW, mg/nm3, vapor pressure (Pa), frost point (°C), lb/MMscf
響應(yīng)速度 T63 <2 分鐘
T95 <5 分鐘
靈敏度 0.001 ppmV 或讀數(shù)的1%,取較大值
自我校驗(yàn)         內(nèi)置濕度發(fā)生器作為標(biāo)準(zhǔn)源
校驗(yàn)可溯源到 NPL & NIST
靈敏度 0.001ppmv 或 1% 讀數(shù),取zui大
顯示  
半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀
可選
模擬輸出 2 路可選4–20 mA 或1 到 5 V
數(shù)字輸出 基于USB 和 ModBus TCP上的Ethernet傳輸
數(shù)據(jù)記錄 直接記錄到 SD 卡或通過 PC 應(yīng)用軟件傳輸
報(bào)警 1 x 系統(tǒng)警報(bào),干接點(diǎn)(FORM C)
電源 24V
工作條件  
進(jìn)氣壓力 1 barg
出氣壓力 大氣壓
樣氣流量 300ml/分鐘 總流量 @ 大氣壓
樣氣溫度 0 ~ +100°C
工作環(huán)境 室內(nèi):+5 ~ +46°C,zui高達(dá)到90% RH
機(jī)械性能  
外殼 不銹鋼
氣體接口 G1/2英寸
重量 0.2Kg

 更多半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀QZ360 ppb超低露點(diǎn)儀信息請直接致電埃登威,西門子U23分析儀


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