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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Teledyne API非色散紅外分析儀OPTI-Sense系列傳感器建立在非色散紅外測(cè)量法基礎(chǔ)上，能夠**測(cè)量半導(dǎo)體應(yīng)用中產(chǎn)生的特種氣體的紅外光譜吸收。該儀器設(shè)計(jì)緊湊，且無(wú)移動(dòng)部件，Teledyne API非色散紅外分析儀適合在半導(dǎo)體工業(yè)流程中用于連續(xù)的現(xiàn)場(chǎng)氣體監(jiān)測(cè)。

詳細(xì)介紹

Teledyne API非色散紅外分析儀

OPTI-Sense系列傳感器建立在非色散紅外測(cè)量法基礎(chǔ)上，能夠**測(cè)量半導(dǎo)體應(yīng)用中產(chǎn)生的特種氣體的紅外光譜吸收。該儀器設(shè)計(jì)緊湊，且無(wú)移動(dòng)部件，適合在半導(dǎo)體工業(yè)流程中用于連續(xù)的現(xiàn)場(chǎng)氣體監(jiān)測(cè)。

Teledyne API非色散紅外分析儀內(nèi)置的診斷系統(tǒng)包含在軟件當(dāng)中。全部OPTI-Sense系列傳感器都配有模擬和數(shù)字交互，使得它們可以簡(jiǎn)單的整合進(jìn)任何工業(yè)流程。

支持的氣體

SiF4

CF4

SiF3

SF6

NF3

CO2

WF6

和其他氣體

規(guī)格參數(shù)

測(cè)量原理：非色散紫外吸收法

應(yīng)用：現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量

光源：脈沖紅外發(fā)射器

材料：抗腐蝕的光學(xué)元件,

不銹鋼接觸液體的部件

Teledyne API非色散紅外分析儀尺寸 (高x寬x長(zhǎng)) ：5.00" x 8.75" x 3.25" (包含光源和探測(cè)器)

重量：< 5 lbs

模擬輸出：出廠設(shè)置為 0 – 1, 5, 或 10 volt

數(shù)字交互：RS-232 C和可選的GUI交互

響應(yīng)時(shí)間：< 10秒

電源：15 VDC – 小于 10 瓦特 (可選AC 電源)

采樣端口：KF16 – 304 SS (可選其他選項(xiàng))

校零：支持遠(yuǎn)程校零

漏氣測(cè)試：真空密封測(cè)試

軟件：嵌入 (標(biāo)準(zhǔn)) - Labview GUI 交互(可選)

認(rèn)證：CE

保修：1 年

特征

Teledyne API非色散紅外分析儀NDIR 非色散紅外測(cè)量法

適用于任何吸收紅外光的氣體

響應(yīng)時(shí)間快

高敏感度

氣體特異性

無(wú)耗材

無(wú)移動(dòng)部件

GUI LabView軟件(可選)

更多Teledyne API非色散紅外分析儀OPTI-Sense信息請(qǐng)直接致電埃登威上海

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Teledyne API非色散紅外分析儀

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