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北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司
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產(chǎn)品型號
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更新時間：2025-11-27 14:34:36瀏覽次數(shù)：144次
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JK-VRP300是一款高溫真空熱壓機(jī)，針對于晶片的焊接或薄膜轉(zhuǎn)移，其可處理樣品尺寸為 300mm*300mm*70mm。儀器工作溫度為500℃，在此溫度下可對樣品施加的壓力為30T。
JK-VRP300高溫真空熱壓機(jī)
JK-VRP300是一款高溫真空熱壓機(jī)，針對于晶片的焊接或薄膜轉(zhuǎn)移，其可處理樣品尺寸為 300mm*300mm*70mm。儀器工作溫度為500℃，在此溫度下可對樣品施加的壓力為30T。
基本參數(shù) | 電源：AC220V , 50Hz ，總功率：約 4.5KW 兩塊 300mm *300mm 加熱平臺，采用耐熱模具鋼制成，可承受溫度為 500℃ 加熱管布置在上下加熱平臺的內(nèi)部，以達(dá)到快速加熱的效果 兩個精密的溫控器獨(dú)立控制兩塊加熱平臺，可設(shè)置 18 段升降溫程序 |
上下加熱平臺和真空腔體 | 上下加熱平臺都安裝在真空腔體內(nèi)，上下加熱平臺尺寸：300*300mm 上下加熱板平面度<0.02mm（在有效面積 300mm*300mm 范圍內(nèi)） 真空腔體采用 304 不銹鋼制作，并焊接有加強(qiáng)筋（防止真空狀態(tài)下腔體變形）， 真空度可以達(dá)到 10 -1Pa。 可放入樣品尺寸：300mm*300mm*70mm一個數(shù)顯真空計腔體設(shè)有一個φ6.35 的卡套接頭作為進(jìn)氣口使用，并通過一個電磁閥控制進(jìn)氣 的通斷腔體側(cè)面有一個φ8mm 寶塔氣嘴的出氣口，通過一個電磁閥控制出氣的通斷腔體側(cè)面有一個 KF25 的抽真空接口，方便客戶匹配各種型號的真空系統(tǒng) |
溫控系統(tǒng) |
兩個精密的溫控系統(tǒng)可設(shè)置 18 段升降溫程序，控溫精度為±1℃，500 度恒溫 時的溫度波動±5℃，分別獨(dú)立控制兩個加熱平臺。
溫控系統(tǒng)采用 PID 方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，并帶有過熱和斷偶保護(hù)。 工作溫度為：500℃（＜30min） |
壓力控制系統(tǒng) | 壓力：30T 加壓方式：電動加壓 壓力精度:0.01 噸 油缸直徑為 Φ80 mm； 油缸行程為 0-70 mm； |
真空泵 | 抽氣速率：8(2.2)m3/h(L/S) 極限壓力：氣鎮(zhèn)關(guān) 5*10 -2Pa 氣鎮(zhèn)開 10Pa 功率：0.37kw 所需油量：0.6~1.0L 進(jìn)出氣口：KF25 |
外形尺寸 | 580*680*120mm |
重量 | 約 580Kg |
質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期，終生維護(hù) 特別提示：耗材部分如加熱元件、石英窗口等不包含在內(nèi)因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
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