VS PR02 — 便攜式

DS-42 旋片泵

VS PD03 — 便攜式

干式泵組合

— 移動式 VS MR15

DS-302 旋片泵

VS MD30 — 移動式

TS-620 干式渦旋泵

VS BR15 — 臺面固定式

DS-302 旋片泵

VS BD30 — 臺面固定式

TS-620 干式渦旋泵

環(huán)境氦氣濃度 1000 ppm 時的最小可檢泄漏

Atm cc/s 氦氣

5 × 10^-12

Mbar-L/s 氦氣

5 × 10^-12

Pa-m³/s 氦氣

5 × 10^-13

測試接口壓力

10 torr/13 mbar/1330 Pa

氦氣抽速

精細(xì)測試時測試接口處為 1.8 L/s

校準(zhǔn)程序

自動或手動

背景氦氣抑制

按鍵式自動歸零，

零點(diǎn)自動跟蹤

用戶界面

高清晰度彩色觸摸屏

可選擇的語言

英語，法語，德語，日語，韓語，簡體中文，西班牙語

用于自動循環(huán)的可編程功能

粗抽時間，測試時間，拒絕設(shè)定點(diǎn)

響應(yīng)時間

< 0.5 s

設(shè)定點(diǎn)（標(biāo)準(zhǔn) — 5）

泄漏速率 (3)，壓力 (1)，音頻 (1)

通訊接口

RS-232，9600 波特（DB-9S 連接器）

認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)

UL/CSA, CE