測量范圍（空氣、O2、CO、N2）

5 x 10^-10 到 1000 mbar（3.8 x 10^-10 到 760 Torr）

準(zhǔn)確度

10^-8 到 10^-2 mbar/torr — 讀數(shù)準(zhǔn)確度為 ± 15%

重復(fù)性

10^-8 到 10^-2 mbar/torr — 讀數(shù)準(zhǔn)確度為 ± 5%

除氣

壓力低于 7.2 x 10^-6 mbar — 電子轟擊，最多 3 分鐘

壓力

2 bar（壓力）

溫度

操作

儲存

在帶有外延法蘭處的烘烤溫度

不帶外延法蘭處的烘烤溫度

電子移除后的烘烤溫度

（周圍環(huán)境）

0 到 50 °C

-20 到 + 70 ℃

150°C

80 ℃

150°C

電源電壓

20 到 28 VDC，在啟動 200 ms 電流為 1.4 A，工作時電流為 0.8 A

輸出信號模擬

0 到 10 V

測量范圍

0.774 到 10.0 V

電壓和壓力關(guān)系

0.75 V/格

錯誤信號

0.3/0.5 V

最小負(fù)載阻抗

10 kΩ

通訊接口

RS-232C

電氣連接

D-sub，15 針，外口

電纜長度

100 m（330 英尺）

暴露于真空中的材料

Yt2O3，Ir，Pt，Mo，Cu，W，NiFe，NiCr，不銹鋼，玻璃

內(nèi)部體積

KF/CF

24 cm³（1.46 立方英寸）/34 cm3（2.1 立方英寸）

重量

KF/CF

285 g/550 g

保護(hù)類型

IP30

FRG-730 設(shè)定點繼電器 (1)

范圍

繼電器觸點

觸點額定值

1 x 10^-9 到 100 mbar

n.o.，

30 V/0.5 A，直流

Profibus 選項

波特率

9.6/19.2/93.75/187.5/500 千波特；1.5/12 毫波特

地址

2 個開關(guān)（地址 00 - 127）或可網(wǎng)絡(luò)編程

數(shù)字功能

讀取壓力，選擇單位 (Torr, mbar, Pa)；脫氣功能，皮拉尼全量程調(diào)整；監(jiān)控規(guī)管狀態(tài)；安全狀態(tài)允許對錯誤情況的行為進(jìn)行定義；詳細(xì)的報警和警告信息

模擬功能

0 到 10 V 模擬輸出壓力指示；兩個設(shè)定點繼電器 A + B

設(shè)定點繼電器 (2)

范圍

繼電器觸點

滯后

觸點額定值

1 x 10^-9 到 100 mbar

n.o.，

10 % 讀數(shù)

60 V/0.5 A，直流

Profibus DP 連接器

D-Sub，9 針，內(nèi)口