高溫、動(dòng)態(tài)高壓應(yīng)用過濾

Gasfil sintub 系列超純氣體過濾器，采用整體316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，過濾精度可達(dá) 3nm。專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)，具備10~250L/min 流量的各種型號(hào)整體金屬結(jié)構(gòu)，是理想的高溫、動(dòng)態(tài)高壓應(yīng)用過濾選擇。

產(chǎn)品特色
- 整體316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)
- 超高顆粒攔截效率，高通量、低阻力
- 適合高溫應(yīng)用
- 結(jié)構(gòu)緊湊
- 適用于多種工藝氣體
- 潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝
- 99% 完整性測(cè)試通過
- 99% 氦氣泄露檢測(cè)通過