濾膜前后雙通道排氣
Polyflora B 系列光化學(xué)過濾器，基于已有的 E、F 系列的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，針對(duì)更高精度需求和關(guān)鍵點(diǎn)位光刻膠對(duì)氣泡極其嚴(yán)格的管控要求，開發(fā)設(shè)計(jì)了濾膜前后雙通道排氣的方式，以應(yīng)對(duì)光刻技術(shù)中的過濾挑戰(zhàn)，適用于最關(guān)鍵的光刻膠和光化學(xué)應(yīng)用。

產(chǎn)品特色
- 化學(xué)兼容性：支持 EUV、ArF、KrF 等光化學(xué)試劑
- 低析出：金屬離子、有機(jī)物、非揮發(fā)性殘留物物質(zhì)低析出管控
- 超凈工藝：加強(qiáng)清洗技術(shù)減少顆粒脫落和微氣泡形成
- 靈活適配：多種膜材料（UPE、Nylon、PTFE）和截留精度（3 nm 至 200 nm）可選。

典型應(yīng)用
- EUV、ArF、KrF 光刻膠
- 顯影液
- 溶劑類