耐高壓、強度高、良好的化學(xué)兼容性

電子級超純氣體高效過濾，大流量在線氣體過濾
GIST®Mega 在線式超純氣體過濾器，專為大流量電子級氣體超純凈化開發(fā)設(shè)計，過濾精度可達(dá)3nm。設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，強度高，與多數(shù)類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的兼容性。推薦用于大宗氣體及惰性氣體。

產(chǎn)品特色
- 316L不銹鋼電子級拋光外殼
- 高通量低壓損
- 優(yōu)異的化學(xué)相容性
- 耐高溫、高壓
- 潔凈室制造和包裝
- 99%完整性測試
- 99%氦氣泄露測試

典型應(yīng)用
- 大宗氣體與惰性氣體