耐高溫、動(dòng)態(tài)高壓、超高顆粒攔截效率

優(yōu)異的化學(xué)兼容性、適用多種工藝氣體
Gasfil系列超純氣體過濾器，采用整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)，過濾精度可達(dá)0.003um。

產(chǎn)品特色
- 整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
- 超高顆粒攔截效率，高通量、低阻力
- 適合高溫應(yīng)用
- 結(jié)構(gòu)緊湊
- 適用于多種工藝氣體
- 潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝
- 99%完整性測試通過
- 99%氦氣泄露檢測通過

典型應(yīng)用
- 高溫、動(dòng)態(tài)高壓應(yīng)用過濾選擇