電子級超純氣體高效過濾、結(jié)構(gòu)緊湊、強度高

優(yōu)異的化學(xué)兼容性、適用多種工藝氣體
GISTmini 超純氣體過濾器專為電子級氣體超純凈化開發(fā)設(shè)計，過濾精度可達 3nm，設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，強度高，與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的兼容性。推薦用于惰性和反應(yīng)性氣體。

產(chǎn)品特色
- 316L 不銹鋼電子級拋光外殼
- 高通量低壓損
- 優(yōu)異的化學(xué)相容性
- 耐高溫、高壓
- 100％完整性測試
- 100％氦氣泄漏測試
- 潔凈室制造和包裝

典型應(yīng)用
- 晶圓制程PVD、CVD、刻蝕、離子注入等工藝氣體過濾