從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個平板顯示器，檢測期間不會對樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的樣品高度為254 mm，橫向樣品空間為300 mm，大大拓展了可以測試的樣品范圍。機柱設(shè)計確保了良好的穩(wěn)定性?？蓾M足在潔凈室內(nèi)檢測晶圓的應(yīng)用要求。利用驅(qū)動Z軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調(diào)整至理想的聚焦位置。

潔凈室
半導(dǎo)體生產(chǎn)和晶圓檢測需要在潔凈室內(nèi)進行。根據(jù)DIN EN ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)，以每立方米的顆粒數(shù)量和大小將潔凈室劃分成不同等級。Axio Imager Vario已通過此標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并滿足5級潔凈室的應(yīng)用要求。ISO 5級潔凈室相當(dāng)于原先標(biāo)準(zhǔn)FED STD 209E（1992）的100級。潔凈室套件中包含一個7x物鏡轉(zhuǎn)盤、一個顆粒保護罩和防噴嚏保護罩。