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技術(shù)文章

尼康MM系列工業(yè)測(cè)量顯微鏡詳解

發(fā)布時(shí)間:2025-9-18

工業(yè)測(cè)量顯微鏡是一種新型、數(shù)字化測(cè)量顯微鏡。主要用于生產(chǎn)車間、計(jì)量檢測(cè)室的產(chǎn)品零件尺寸檢測(cè)。

MM 系列是尼康引以為傲的產(chǎn)品,具有多種增強(qiáng)功能(如更高的測(cè)量精度)并可協(xié)同使用數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。該系列具有高精度和易用性特點(diǎn),可滿足廣泛的應(yīng)用需求。

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▲Nikon MM系列 工業(yè)顯微鏡

性能特點(diǎn)

· 除了易用性設(shè)計(jì)外,還配備有電動(dòng)垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)。

· 新開發(fā)的透射照明可以切換白色和綠色 LED 光(MM-400N、MM-800N)

· 增強(qiáng)的機(jī)身剛性可以安裝行程為 300 x 200 mm 的載物臺(tái) ( MM-800N)

· 使用 E-MAX (V2 套件) 測(cè)量支持系統(tǒng)可以進(jìn)行數(shù)字圖像測(cè)量。

· 新開發(fā)的 DP-E1A 數(shù)據(jù)處理單元結(jié)合了高級(jí)功能和易用性。

· 粗 /微移動(dòng)轉(zhuǎn)換桿和 RESET/SEND (重置/發(fā)送) 按靠近載物臺(tái)的 X/Y 軸手柄。

· MM-400N 和 MM-800N 都有透射照明器的孔徑光闌功能,支持對(duì)圓柱部件進(jìn)行測(cè)量。

· 功耗降低 10% 與前一代 MM-400/MM-800 系列型號(hào)相比。制造商提供環(huán)保產(chǎn)品并遵守 ROHS 指令和其他法律和法規(guī)。

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▲X 軸手柄(開關(guān)附近)                                                                       ▲Y 軸手柄(開關(guān)附近)

增強(qiáng)的高度測(cè)量精度

· 輔助對(duì)焦(FA)

新開發(fā)的分光棱鏡輔助對(duì)焦 FA 提供清晰銳利的圖案,可在 乙 軸實(shí)現(xiàn)高精度對(duì)焦并能減少由物鏡鏡頭的景深造成的高度測(cè)量錯(cuò)誤。提供淺色和深色兩種類型的圖案,可根據(jù)測(cè)試對(duì)象的表面特性在它們之間進(jìn)行切換。

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增強(qiáng)的照明性能滿足更廣泛的需求

· LED 照明器

新開發(fā)的透射 LED 照明器現(xiàn)采用白色和綠色光源 (不包括 MM-200) ,操作人員可以輕松切換燈光而無需插入或移除濾光片。高光強(qiáng)白色 LED 照明具有恒定的色溫,并且燈光調(diào)制器反應(yīng)迅速,便于進(jìn)行高精度測(cè)量。此外,它還具有低功耗和長(zhǎng)壽命的優(yōu)點(diǎn)。

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▲LED 透射照明器                                                                            ▲LED 反射照明器

· 光學(xué)系統(tǒng)-物鏡

1倍、3倍、5倍、10倍、20倍、50倍、100倍物鏡

這些小巧緊湊的物鏡具有較長(zhǎng)的工作距離和出色的分辨率。所有的物鏡都幾乎具有相同的對(duì)焦距離,并配有鏡頭適配器,可快速輕松地更換。

應(yīng)用場(chǎng)景:模具、注塑部件、沖壓部件、精加工部件、連接器;

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· Nikon CFI60-2物鏡

這是使用單個(gè)物鏡鏡頭可以實(shí)現(xiàn)所有觀察方法的通用型標(biāo)準(zhǔn)物鏡鏡頭:明場(chǎng)、略暗場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光和微分干涉以及不僅能在可見光區(qū)和又能在紫外光區(qū)進(jìn)行的落射熒光觀察。

該新型光學(xué)系統(tǒng)結(jié)合了的色差校正和長(zhǎng)工作距離的優(yōu)點(diǎn)。被測(cè)位置的邊緣檢測(cè)和可操作性都得以改進(jìn),可以處理更廣泛的樣品。

應(yīng)用場(chǎng)景:半導(dǎo)體封裝、焊接貼片、FPD面板、晶片級(jí)CSP;

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· 搭配E-MAX系列

采用高級(jí)數(shù)字圖像處理技術(shù)進(jìn)行 FOV 測(cè)量;

結(jié)合使用 V2 數(shù)碼相機(jī),E-MAX 系列軟件可提供各種高級(jí)測(cè)量和處理功能,涵蓋從 2D 數(shù)據(jù)處理和圖像測(cè)量到數(shù)據(jù)存儲(chǔ)等。具備亞像素處理功能的自動(dòng)邊緣檢測(cè)允許進(jìn)行可重復(fù)的測(cè)量。

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