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更新時間:2026-05-28 08:20:45瀏覽次數(shù):93次
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優(yōu)異的化學兼容性、適用多種工藝氣體結(jié)合過濾器的顆粒攔截,減少工藝腔體排氣時的湍流Gasfaver系列擴散器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進行設(shè)計
優(yōu)異的化學兼容性、適用多種工藝氣體
結(jié)合過濾器的顆粒攔截,減少工藝腔體排氣時的湍流
Gasfaver系列擴散器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進行設(shè)計。Gasfaver擴散器結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,過濾精度達0.003μm。獨特的濾材結(jié)構(gòu)設(shè)計,在保證過濾效率的同時,也避免引起湍流,對工藝室環(huán)境造成影響,防止吹起顆?;蛏踔链灯鸸杵?/span>
產(chǎn)品特色
- 減少工藝腔體排氣時的湍流
- 適用于多種工藝氣體
- 潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝
- 99% 完整性測試通過
- 99% 氦氣泄露檢測通過
典型應(yīng)用
- 半導體制程中真空腔體快速放氣
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