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FPLE系列光化學(xué)過(guò)濾器為一字型排布接口,搭配管路接頭均可實(shí)現(xiàn)快速拆裝,適用于去離子水、顯影液、光抗蝕劑等光化學(xué)試劑,應(yīng)用范圍廣泛
FPLE 系列光化學(xué)過(guò)濾器為一字型排布接口,搭配管路接頭均可實(shí)現(xiàn)快速拆裝,適用于去離子水、顯影液、
光抗蝕劑等光化學(xué)試劑,應(yīng)用范圍廣泛。
化學(xué)兼容性: 顯影液、光抗蝕劑等光化學(xué)試劑
低析出: 金屬離子、有機(jī)物、非揮發(fā)性
殘留物物質(zhì)低析出管控。
超凈工藝: 加強(qiáng)清洗技術(shù)減少顆粒脫落
和微氣泡形成。
靈活適配: 多種膜材料(UPE、Nylon、
PTFE)和截留精度(3 nm 至 200 nm)可選
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