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行業(yè)產(chǎn)品

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飛潮（上海）新材料股份有限公司


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超純氣體過濾器 Gasfil ALO

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：張培查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2026-05-26 08:57:11瀏覽次數(shù)：73次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：183條

所在地區(qū)：江蘇無錫市

聯(lián)系人：張培 （醫(yī)藥行業(yè)經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

GasfilALO系列超純氣體過濾器，內(nèi)芯采用高純氧化鋁多孔陶瓷材料，過濾精度可達(dá)1.5nm

詳細(xì)介紹

Gasfil ALO 系列超純氣體過濾器，內(nèi)芯采用高純氧化鋁多孔陶瓷材料，過濾精度可達(dá) 1.5nm。專為半

導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)，具備 30~3000L/min 流量的各種型號，特別適合小

尺寸大流量需求點(diǎn)位應(yīng)用。

 

產(chǎn)品特點(diǎn)

316L不銹鋼殼體；超高顆粒攔截效率；小尺寸、高通量、低阻力；適用于多種工藝氣體，兼容強(qiáng)氧化性氣體；潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝；99%完整性測試通過；99%氦氣泄漏檢測通過。

 

技術(shù)參數(shù)

  • 濾材‌：惰性氧化鋁
  • ‌殼體‌：方案一：低硫316L；方案二：超純316L（VAR/VIM+VAR）
  • ‌表面處理‌：外表面：Ra<1.6μm；內(nèi)表面：電解拋光，Ra<0.2μm
  • ‌過濾效率‌：顆粒攔截粒徑：≥1.5nm；顆粒攔截效率：≥99.999999%（9 LRV）@30 slpm
  • ‌使用溫度‌：50℃
  • ‌下游潔凈度‌：<1 particle/ft³ @ >0.01 μm，30slpm
  • ‌氦氣泄漏率‌：驗(yàn)證漏率：2×10?¹? atm.cc/sec；測試漏率：1×10?? atm.cc/sec
  • ‌進(jìn)氣壓力‌：207 bar
  • ‌工作壓差‌：5.2 bar

關(guān)鍵詞：過濾器

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