詳細(xì)介紹
產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù)名稱
參數(shù)值
配氣濃度范圍
0-99%(體積比,可定制其他濃度)
可選配氣氣體
SF6、N2、CF4、C4F7N、C5F10O、CO2、Air,
其他氣體可定制
配氣精度
±1%VOL
灌充速度
(100-200)L/min
灌充壓力
1.5Mpa
真空泵速率
16m3/h
極性真空度
≤10 Pa
功能特點(diǎn)
輸出混合氣濃度可任意設(shè)定,可以配置任意兩種已知濃度的氣體,比如SF6/N2、C4F7N/CO2、C5F10O/CO2、
C4F7N/Air、C5F10O/Air等混合氣體
對(duì)混合氣體進(jìn)行自動(dòng)增壓,通過(guò)壓力檢測(cè)和智能控制實(shí)現(xiàn)對(duì)電氣設(shè)備快速、準(zhǔn)確和穩(wěn)定的灌充操作
當(dāng)電氣設(shè)備內(nèi)混合氣體濃度偏離額定值,需要調(diào)整時(shí),可根據(jù)氣室內(nèi)當(dāng)前濃度和壓力、目標(biāo)濃度和壓力,
自動(dòng)計(jì)算所需補(bǔ)氣濃度,自動(dòng)配氣進(jìn)行補(bǔ)氣操作
對(duì)裝置工作管路抽真空處理
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