參數(shù)名稱

參數(shù)值

測量范圍

(0~100)% mol/mol

精 度

±0.5%（mol/mol）

分 辨 率

0.01%

響應時間

<20s

配氣流量

24Nm3/h（常規(guī)，RF-MG24），

12Nm3/h（RF-MG12）、

30Nm3/h（RF-MG30）、

60Nm3/h（RF-MG60）可選

配氣誤差

<±0.5%

輸出壓力

1.5Mpa(MAX)

系統(tǒng)平衡時間

<40s

控 制 器

西門子S7-200smart

顯 示 屏

一體式觸摸屏

真 空 泵

16m3，極性真空度10pa

電 源

380VAC±10% 50Hz

功 率

10KW max

壓力容器

附帶壓力容器證

氣源壓力

>0.3Mpa

環(huán)境溫度

(-10～50)℃

環(huán)境濕度

(15～90)%RH（無結(jié)露）

環(huán)境壓力

大氣壓 ±10%

尺 寸

1100mm*900mm*1610mm（L*W*H）

不同規(guī)格尺寸會有差別