參數(shù)名稱(chēng)

參數(shù)值

檢測(cè)氣體

六氟化硫（SF?）

測(cè)量范圍

(0~100)%Vol

預(yù)熱時(shí)間

＜2min

恒溫氣室穩(wěn)定時(shí)間

＜10min (12VDC/常溫下)

推薦流量

(50-500)mL/min

線性誤差

＜±0.1%F.S

響應(yīng)時(shí)間(T₉₀)

＜12s(@500mL/min)

重復(fù)性（相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差）

＜0.2%

最小檢出限

0.2%F.S

分辨力

0.01%

工作電壓

(7~12）VDC

工作電流

2.4A(平均200mA)@12V

平均功率

＜2.5W

峰值功率

＜40W

信號(hào)輸出方式

MODBUS RTU @ RS-485

工作溫度

(-20~50)℃

工作濕度

(0~95)%RH(無(wú)結(jié)露)

儲(chǔ)存溫度

(-40~80)℃

尺 寸

106mm*85mm*71mm(L*W*H)

重 量

470g