工

作

臺

X/Y軸行程

300*200mm

Z軸行程

有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm，工作距離95mm

大理石臺面尺寸

450MM*350MM

玻璃臺面尺寸

330MM*230MM

傳動型式

傳動型：X/Y/Z軸中國臺灣進口精密線性導(dǎo)軌和中國臺灣進口研磨級滾珠螺桿  

測量伺服驅(qū)動系統(tǒng)

光學(xué)尺分辨率：X/Y/Z軸0.0002MM（0.2UM）(進口金屬貼片尺）

測量精度：≤2.5UM+L/250 重復(fù)精度：≤2.5UM+L/250

X/Y/Z三軸中國臺灣高性能閉環(huán)伺服電機，雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)

影像系統(tǒng)

攝像機一：高分辨率彩色2/3CCD   200萬數(shù)字相機攝像機放大倍率20-130X

攝像機二：導(dǎo)航200W高清相機

自動連續(xù)變倍鏡頭：高清變倍同軸偏光鏡頭//連續(xù)放大倍率0.7-4.5X

5X高工作距離物鏡：總放大倍數(shù)100X-650X

光源系統(tǒng)

表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長、亮度可調(diào) +同軸光源

儀器外形尺寸（L*W*H）

700MM*800MM*1650MM

儀器重量（KG）

300KG