工

作

臺(tái)

X/Y軸行程

400*300mm

Z軸行程

有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm，工作距離95mm

大理石臺(tái)面尺寸

550MM*450MM

玻璃臺(tái)面尺寸

430MM*330MM

傳動(dòng)型式

傳動(dòng)型：X/Y/Z軸中國(guó)臺(tái)灣進(jìn)口精密線性導(dǎo)軌和中國(guó)臺(tái)灣進(jìn)口研磨級(jí)滾珠螺桿  

測(cè)量伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

光學(xué)尺分辨率：X/Y/Z軸0.0002MM（0.2UM）(進(jìn)口金屬貼片尺）

測(cè)量精度：≤2.5UM+L/250 重復(fù)精度：≤2.5UM+L/250

X/Y/Z三軸中國(guó)臺(tái)灣高性能閉環(huán)伺服電機(jī)，雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)

影像系統(tǒng)

攝像機(jī)一：高分辨率彩色2/3CCD   200萬(wàn)數(shù)字相機(jī)攝像機(jī)放大倍率20-130X

攝像機(jī)二：導(dǎo)航200W高清相機(jī)

自動(dòng)連續(xù)變倍鏡頭：高清變倍同軸偏光鏡頭//連續(xù)放大倍率0.7-4.5X

5X高工作距離物鏡：總放大倍數(shù)100X-650X

光源系統(tǒng)

表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長(zhǎng)、亮度可調(diào) +同軸光源

儀器外形尺寸（L*W*H）

850MM*900MM*1650MM

儀器重量（KG）

380KG