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詳細(xì)介紹
特點(diǎn)：
測(cè)量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測(cè)量多用的高精度、高效率測(cè)量?jī)x器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng)，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu)，是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測(cè)量為主，也可作三維輔助測(cè)量，廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。
特點(diǎn)：
1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力
2. 電動(dòng)Z軸分辨力0.1μm
3. 具有高度自動(dòng)測(cè)量
4. 內(nèi)建偏光測(cè)量光學(xué)模塊
5. 高速/無(wú)接觸測(cè)量
6. 同軸光/底光測(cè)量
7. 可搭配白光納米檢測(cè)模塊測(cè)量納米級(jí)厚度
技術(shù)規(guī)格參數(shù)： 型號(hào) MTM-3020MA 工作臺(tái) 金屬臺(tái)尺寸(mm) 500 x 330 玻璃臺(tái)尺寸(mm) 350 x 250 X、Y軸運(yùn)動(dòng)行程(mm) 300 x 200 手動(dòng)Z軸行程(mm) 120 自動(dòng)Z軸行程(mm) 2 外形尺寸(mm) 825 x 660 x 910 儀器重量(kg) 130 X、Y、Z軸分辨力(μm) 0.5 自動(dòng)Z軸分辨力(μm) 0.1 示值誤差(μm) E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測(cè)量長(zhǎng)度，單位mm) 物鏡放大倍數(shù)誤差 包括畸變?cè)趦?nèi)的放大率誤差≦0.08% 落射照明光源 可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/p> 底光照明光源 可調(diào)高亮度LED燈源 目視系統(tǒng) 影像系統(tǒng) 物鏡放大倍數(shù) 5X、10X、20X、50X 5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡 目鏡放大倍數(shù) 10X雙鏡筒 1/2"CCD攝像機(jī) 視頻總倍率 50X ~500X 142.5X ~1425X (19.5"顯示器，分辨率1440 x 900) 單層透明膜厚度測(cè)量模組 高精度測(cè)量模式 快速測(cè)量模式 厚度測(cè)量范圍 100nm ~300nm 300nm ~500nm 500nm ~3μm 3μm ~20μm 分辨力 5nm 5nm 7.5nm 0.1μm
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