等離子清洗機(jī)清洗原理是利用氣體在特定的交變電場(chǎng)激蕩下變成等離子體，等離子體在偏壓作用下被加速產(chǎn)生動(dòng)能，

移動(dòng)粒子轟擊待清洗器件的表面，使污染物脫離表面，同時(shí)和污染物反應(yīng)生成易揮發(fā)性的化合物，

使表面污染物變成附著力低的粒子和氣態(tài)物質(zhì)。

清潔過(guò)程可以通過(guò)與自由基氧、氫、氟或氯物質(zhì)的化學(xué)反應(yīng)或通過(guò)重離子(例如氬離子)的高能離子濺射來(lái)實(shí)現(xiàn)。

等離子清洗機(jī)是通過(guò)等離子放電過(guò)程產(chǎn)生化學(xué)活性自由基和高能離子的設(shè)備。等離子體可以通過(guò)射頻、微波或直流輝光放電產(chǎn)生