電子工業(yè)制備純水的工藝大致分成以下3種：

　　1、采用離子交換樹脂制備電子工業(yè)純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置保安過濾器→用水點。

　　2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業(yè)純水的方式，其基本工藝流程為：原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置保安過濾器→用水點

　　3、采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備電子工業(yè)純水的的方式，這是一種制取純水的新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟，發(fā)展空間**的純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置保安過濾器→用水點