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SPV-200真空等離子清洗機(jī)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SPV-200真空等離子清洗機(jī)的腔體“肚量"寬大,超大處理空間,真空腔體容量為200L,提升處理產(chǎn)能,可按照客戶要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù),全自動(dòng)工作,減少人力成本

詳細(xì)介紹

SPV-200真空等離子清洗機(jī)的腔體“肚量"寬大,超大處理空間,真空腔體容量為200L,提升處理產(chǎn)能,可按照客戶要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù),全自動(dòng)工作,減少人力成本。
工作原理

等離子表面處理是通過對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子體。等離子體的“活性"組成包括:離子、電子、原子、活性基因等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
真空等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為五大組成部分:控制系統(tǒng)、激勵(lì)電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、真空泵系統(tǒng)。
(A)控制系統(tǒng):控制系統(tǒng)作用在于控制整個(gè)真空等離子清洗設(shè)備的運(yùn)行,以及整體系統(tǒng)的保護(hù)。
(B)激勵(lì)電源系統(tǒng):等離子體的產(chǎn)生需要高壓激勵(lì),真空等離子采用射頻電源(0-1000W)或中頻電源(0-2000W)進(jìn)行激勵(lì),射頻電源頻率13.56MHz,中頻電源頻率40KHz。參數(shù)根據(jù)樣品實(shí)際情況可進(jìn)行調(diào)節(jié),可達(dá)到的改性效果。
(C)真空腔體:真空腔體主要分為三種材質(zhì):①不銹鋼真空腔體 ②石英腔體 ③高強(qiáng)度鋁合金腔體
電極板放置方式:①平板水平電極式 ②平板垂直電極式
根據(jù)不同行業(yè)與應(yīng)用領(lǐng)域選擇腔體材質(zhì)和電極板放置方式。
(D)工藝氣體系統(tǒng):標(biāo)配兩路工藝氣體,根據(jù)清洗材質(zhì)的不同,可分別選用氬氣、氧氣、氮?dú)?、氫氣、四氟化碳?xì)怏w。
(E)真空泵系統(tǒng):真空泵組主要分為三種:①油泵 ②羅茨泵 ③干泵
抽真空速度是決定一臺(tái)真空等離子清洗機(jī)工作效率的重要因素之一,抽真空速度的快慢主要是取決于真空泵。根據(jù)測(cè)量樣品的真空度要求和體積要求來(lái)配置真空泵組。



行業(yè)應(yīng)用


行業(yè)專用方案
攝像頭模組應(yīng)用
支架清洗:去除有機(jī)物,活化材料表面,提高親水性和粘附力,防止溢膠。
WB前處理:去除表面有機(jī)污染物粒子,增加貼合度,提高良品率。

設(shè)備視頻
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

性能可靠“肚量"寬大

真空腔體采用航空鋁合金材料,級(jí)無(wú)縫焊接,腔體密封性強(qiáng),電極面積達(dá)到575mmx510mm,腔體與電極之間的間隙可到34mm,靈活的電極結(jié)構(gòu)設(shè)置與優(yōu)化的氣體饋入,分布方案,確保大批量處理的均勻性。
真空腔體采用航空鋁合金材料,級(jí)無(wú)縫焊接,腔體密封性強(qiáng),電極面積達(dá)到575mmx510mm,腔體與電極之間的間隙可到34mm,靈活的電極結(jié)構(gòu)設(shè)置與優(yōu)化的氣體饋入,分布方案,確保大批量處理的均勻性。
01

智能化程序化控制

PLC+7寸液晶觸摸顯示屏控制系統(tǒng),一鍵啟動(dòng),操作簡(jiǎn)單,可設(shè)置多種實(shí)驗(yàn)參數(shù),精確控制試驗(yàn)時(shí)間、真空度、功率等重要參數(shù),多級(jí)管理權(quán)限,集簡(jiǎn)易的操作體驗(yàn)與嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓に嚬芸貫橐惑w。
PLC+7寸液晶觸摸顯示屏控制系統(tǒng),一鍵啟動(dòng),操作簡(jiǎn)單,可設(shè)置多種實(shí)驗(yàn)參數(shù),精確控制試驗(yàn)時(shí)間、真空度、功率等重要參數(shù),多級(jí)管理權(quán)限,集簡(jiǎn)易的操作體驗(yàn)與嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓に嚬芸貫橐惑w。
02

超低清洗溫度

真空腔體由鋁合金材質(zhì)制造,經(jīng)過真空度檢漏測(cè)試,處理溫度低于45℃,保壓性能優(yōu)異,可滿足不同場(chǎng)合溫度要求,不對(duì)清洗產(chǎn)品造成溫度影響。
真空腔體由鋁合金材質(zhì)制造,經(jīng)過真空度檢漏測(cè)試,處理溫度低于45℃,保壓性能優(yōu)異,可滿足不同場(chǎng)合溫度要求,不對(duì)清洗產(chǎn)品造成溫度影響。
03

放電技術(shù)

電極有孔設(shè)計(jì),可以使等離子體的濃度和強(qiáng)度增加,設(shè)備處理樣品更高效,放電技術(shù),特殊處理及特殊結(jié)構(gòu)的放電裝置,確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。
電極有孔設(shè)計(jì),可以使等離子體的濃度和強(qiáng)度增加,設(shè)備處理樣品更高效,放電技術(shù),特殊處理及特殊結(jié)構(gòu)的放電裝置,確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。
04

一鍵安全保障

一鍵急停保護(hù)按鈕,可以快速終止運(yùn)行,以最小程度降低因操作失誤而造成對(duì)樣品的損害。
一鍵急停保護(hù)按鈕,可以快速終止運(yùn)行,以最小程度降低因操作失誤而造成對(duì)樣品的損害。
05

多路氣體控制

高精度氣體流量監(jiān)測(cè)系統(tǒng),針對(duì)不同的產(chǎn)品,通入不同反應(yīng)氣體,雙路或多路工藝氣體,適用清洗各種復(fù)雜形狀的產(chǎn)品,均勻清洗。
高精度氣體流量監(jiān)測(cè)系統(tǒng),針對(duì)不同的產(chǎn)品,通入不同反應(yīng)氣體,雙路或多路工藝氣體,適用清洗各種復(fù)雜形狀的產(chǎn)品,均勻清洗。
06

多種配件搭配

多種電源、腔體、泵組供選擇,自由搭配,的定制服務(wù)。
多種電源、腔體、泵組供選擇,自由搭配,的定制服務(wù)。
07

自動(dòng)化定制方案

經(jīng)過專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)對(duì)產(chǎn)品部件篩選,選出適合和優(yōu)質(zhì)的部件,確保設(shè)備性能*和長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的運(yùn)行,同時(shí)可根據(jù)需求定制自動(dòng)化方案,保養(yǎng)維修成本低,便于成本控制。
經(jīng)過專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)對(duì)產(chǎn)品部件篩選,選出適合和優(yōu)質(zhì)的部件,確保設(shè)備性能*和長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的運(yùn)行,同時(shí)可根據(jù)需求定制自動(dòng)化方案,保養(yǎng)維修成本低,便于成本控制。
08
應(yīng)用案例
Mini LED點(diǎn)膠前等離子清洗
PCB鉆孔除膠等離子清洗
手機(jī)屏四大組成構(gòu)造
Mini LED產(chǎn)業(yè)鏈
PCB內(nèi)層干膜等離子清洗
塑料絲印前等離子清洗
半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域等離子清洗
產(chǎn)品推薦

SPV-60真空等離子清洗機(jī)

專為面積較大、形狀復(fù)雜的材料進(jìn)行表面改性處理,是實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕功效的理想選擇

SPV-100真空等離子清洗機(jī)

超低處理溫度45℃,不造成熱影響,確保穩(wěn)定的處理效果

SPV-150真空等離子清洗機(jī)

級(jí)焊接工藝,真空腔體密封性強(qiáng),高密度等離子源,均勻清洗

SPK-800S寬幅射頻等離子清洗機(jī)

臺(tái)800mm超長(zhǎng)處理寬度,單位面積處理時(shí)間提升3倍

外觀參數(shù)
外形尺寸 1350*1700*1200mm(寬*高*深)
重量 400KG
設(shè)備外觀顏色 銀灰色
電源系統(tǒng)
射頻電源 功率:0~1000W
頻率:13.56MHz
中頻電源 功率:0~2000W
頻率:40KHz
真空系統(tǒng)
腔體內(nèi)部尺寸 600*600*600mm(寬*高*深)
厚度 25mm
材質(zhì) 鋁合金(可定制不銹鋼腔體)
密封性 級(jí)焊接密封
電極板有效尺寸 575*510mm(寬*深)
可用空間間距 34mm
工作空間 8層
工作托盤 標(biāo)配一套,材質(zhì)可選配(鋁材、鋼絲網(wǎng))
電極板布置方式 水平布置,可活動(dòng)抽取
泵組 羅茨泵+單級(jí)旋片泵
真空管路 全不銹鋼管路,以及高強(qiáng)度真空波紋管
氣體系統(tǒng)
流量范圍 0~300SCCM
工藝氣體氣路 標(biāo)配兩路,可定制(氬氣、氧氣、氮?dú)狻錃?、四氟化碳?/span>
控制系統(tǒng)
系統(tǒng)控制 PLC
交互方式 7寸觸控屏幕

配件類型

晟鼎自主研發(fā)—國(guó)產(chǎn)中頻電源

頻率40KHz,功率2000W

晟鼎專屬定制—國(guó)產(chǎn)射頻電源

頻率13.56MHz,功率0~1000W

美國(guó)CERES—進(jìn)口射頻電源

頻率13.56MHz,功率0~600W或0~1000W可選

進(jìn)口中頻電源

頻率40KHz,功率2000W

橫電極腔體

應(yīng)用于芯片、攝像頭模組、PCB/FPC、晶圓等產(chǎn)品表面處理

豎電極腔體

應(yīng)用于LED行業(yè),適用于各種類型產(chǎn)品治具或結(jié)構(gòu)

泵組

油泵

羅茨泵

干泵

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