機(jī)組特點(diǎn)與技術(shù)指標(biāo) *真空獲得為復(fù)合分子泵和直聯(lián)旋片泵，機(jī)組真空度在分子泵啟動到400Hz后優(yōu)于8×10-4Pa；30分鐘以內(nèi)優(yōu)于8×10-5Pa；極限真空8×10-7Pa。 *機(jī)組為可移動臺式小車結(jié)構(gòu)，能夠滿足不同位置排氣的需求。 *機(jī)組配備預(yù)抽排氣系統(tǒng)，可在分子泵不停止的狀態(tài)下實(shí)現(xiàn)換工件、預(yù)抽真空、抽高真空的排氣流程，縮短了排氣時間，有效提高了工作效率。

機(jī)組特點(diǎn)與技術(shù)指標(biāo) *真空獲得為復(fù)合分子泵和直聯(lián)旋片泵，機(jī)組真空度在分子泵啟動到400Hz后優(yōu)于8×10-4Pa；30分鐘以內(nèi)優(yōu)于8×10-5Pa；極限真空8×10-7Pa。 *機(jī)組為可移動臺式小車結(jié)構(gòu)，能夠滿足不同位置排氣的需求。 *機(jī)組配備預(yù)抽排氣系統(tǒng)，可在分子泵不停止的狀態(tài)下實(shí)現(xiàn)換工件、預(yù)抽真空、抽高真空的排氣流程，縮短了排氣時間，有效提高了工作效率。