特點：
*分辨率為0.1/0.5μm時，精度可高達(dá)(1.3+0.6L/600)μm；
*確保垂直度（前部）達(dá)6μm，直線度達(dá)4μm；
*全/半空氣浮動系統(tǒng)可調(diào)節(jié)氣墊；
*GO/NO-GO LED顯示.
*帶有基本統(tǒng)計功能，另外，通過RS-232C數(shù)據(jù)輸出與帶有SPC軟件的電腦相連，
可實現(xiàn)外部測量數(shù)據(jù)評估；
*大容量數(shù)據(jù)存儲，可儲存50個測量程序和60000個測量結(jié)果
技術(shù)參數(shù)：