超純低壓氣動(dòng)隔膜閥 DLP

DLP系列超純低壓氣動(dòng)隔膜閥適用于半導(dǎo)體行業(yè)高純氣體低壓工況下的輸送，產(chǎn)品在采用緊湊設(shè)計(jì)的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)高CV值。在高標(biāo)準(zhǔn)的潔凈室內(nèi)生產(chǎn)，EP電解拋光處理內(nèi)表面，粗糙度可達(dá)Ra≤5μin。每個(gè)產(chǎn)品都需要經(jīng)過氦質(zhì)譜泄漏測試，從而保障應(yīng)用安全性。

材料

閥體：SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR

閥座：PCTFE/PFA/PI

膜片：鈷基超級合金、Hastelloy C-22、SS316L

使用溫度

PCTFE: -10~80℃

PFA/PI: -10~150℃

使用壓力：250psi（17.2bar）

閥體內(nèi)漏率：≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He

閥體外漏率：≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He

內(nèi)表面粗糙度

B：Ra≤10μin（0.25μm）

EP級：Ra≤5μin （0.13μm）

連接選擇：VCR公頭、VCR母頭、卡套接頭、對焊管接頭

氣動(dòng)操作選擇：常閉（NC）、常開（NO）