產(chǎn)品型號

開啟式單溫區(qū)低真空 CVD 系統(tǒng) OTF-1200X-F3LV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<60℃。

2 、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時(shí)延長使用壽命。

3 、采用 PID 控制器 ，可以設(shè)置 30 段升降溫程序。

4、設(shè)有超溫及斷偶報(bào)警功能。

5 、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： AC 220V    50Hz/60Hz    2.5KW

2、石英管： 外徑 ?80mm ，內(nèi)徑 ?75mm ，長 1000mm

3、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲

4、加熱區(qū)域： 440mm

5、恒溫區(qū)域： 150mm

6 、工作溫度：  1200℃ ，連續(xù)工作 1100℃

7、升降溫速率： 20℃/min

8、控溫精度：± 1℃

9、真空度： 5.5×10-3torr （機(jī)械泵）， 10-4torr  （分子泵）

10、泄漏率： <5mtorr/min

11、浮子流量計(jì)： 3 個(gè)； 10ml/min-100ml/min ，16ml/min-160ml/min ，25ml/min-250ml/min

12、壓力表： 4 個(gè)

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 管式爐 550mm×380mm×520mm ，混氣系統(tǒng) 600mm×600mm×597mm；重量： 60kg