產(chǎn)品型號(hào)

全自動(dòng)橢偏檢測(cè)機(jī)臺(tái)

主要特點(diǎn)

1、支持實(shí)驗(yàn)室研究整體橢偏集成控制測(cè)量技術(shù)

2、支持產(chǎn)線大基片離線自定義多點(diǎn)掃描測(cè)量并輸出報(bào)告

3、支持多橢偏方案，多組合集成

4、支持測(cè)頭模塊以及樣件機(jī)臺(tái)定制化

技術(shù)參數(shù)

自動(dòng)化程度

可變/固定角

應(yīng)用定位

高階高精度型

高精度型

單次測(cè)量時(shí)間

0.5-5s

分析光譜

380-1000nm（支持?jǐn)U展至 193-2500nm）

Mapping 行程

支持 100x100mm 行程擴(kuò)展

支持樣件尺寸

支持 200mm 樣件