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SE103通用型壓力芯片

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更新時間:2026-08-09 08:28:11瀏覽次數(shù):85

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品描述: SE103是一款用于表壓(相對)或絕壓測量的壓阻式壓力傳感器芯片

詳細介紹

產(chǎn)品描述:


SE103是一款用于表壓(相對)或絕壓測量的壓阻式壓力傳感器芯片。該傳感器芯片采用 6 英寸晶圓,通過 MEMS工藝制造而成。

SE103 的壓力腔和硅膜片是一體的,這使得 SE103 具有很好的非線性誤差,并且可用于表壓或差壓測量。

SE103 是無補償?shù)膫鞲衅餍酒?,其電橋是帶?個焊盤的閉橋電路。



產(chǎn)品技術(shù)指標:

參數(shù)

單位

技術(shù)指標

量程

bar

0~2.5,~6,~10,~16,~25,~60

壓力類型

 

表壓, 絕壓

安全過載

%fs

200

爆破壓力 

%fs

300

滿量程輸出(fso)

mV

≥60mV @ 5Vdc

激勵

電壓

Vdc

5(典型值),2.5~7.5Vdc

電流

mA

1(典型值), 0.5~1.5mA

零點漂移

mV

≤±4mV/V

非線性誤差

fs%

≤±0.15

遲滯性誤差

fs%

≤±0.05

重復(fù)性誤差

fs%

≤±0.05

長期穩(wěn)定性

fs%/年

≤±0.2

橋路電阻

Ω

5±1

儲存溫度范圍

°C

-45~ +120

工作溫度范圍

°C

-45~ +120

橋阻溫漂系數(shù)

R%/°C

0.15±0.05

零點漂移溫漂系數(shù)

fso%/°C

≤±0.05

靈敏度溫漂系數(shù)

fso%/°C

≤|-0.05|

零點漂移熱遲滯

fso%/°C

≤±0.2

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