詳細介紹
產(chǎn)品描述:
SE103是一款用于表壓(相對)或絕壓測量的壓阻式壓力傳感器芯片。該傳感器芯片采用 6 英寸晶圓,通過 MEMS工藝制造而成。
SE103 的壓力腔和硅膜片是一體的,這使得 SE103 具有很好的非線性誤差,并且可用于表壓或差壓測量。
SE103 是無補償?shù)膫鞲衅餍酒?,其電橋是帶?個焊盤的閉橋電路。
產(chǎn)品技術(shù)指標:
參數(shù) 單位 技術(shù)指標 量程 bar 0~2.5,~6,~10,~16,~25,~60 壓力類型 表壓, 絕壓 安全過載 %fs 200 爆破壓力 %fs 300 滿量程輸出(fso) mV ≥60mV @ 5Vdc 激勵 電壓 Vdc 5(典型值),2.5~7.5Vdc 電流 mA 1(典型值), 0.5~1.5mA 零點漂移 mV ≤±4mV/V 非線性誤差 fs% ≤±0.15 遲滯性誤差 fs% ≤±0.05 重復(fù)性誤差 fs% ≤±0.05 長期穩(wěn)定性 fs%/年 ≤±0.2 橋路電阻 Ω 5±1 儲存溫度范圍 °C -45~ +120 工作溫度范圍 °C -45~ +120 橋阻溫漂系數(shù) R%/°C 0.15±0.05 零點漂移溫漂系數(shù) fso%/°C ≤±0.05 靈敏度溫漂系數(shù) fso%/°C ≤|-0.05| 零點漂移熱遲滯 fso%/°C ≤±0.2
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