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P系列真空排氣臺(tái)技術(shù)參數(shù)表格

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產(chǎn)品應(yīng)用用于電真空器件，如磁控管、行波管、回旋管、調(diào)速管等真空排氣

詳細(xì)介紹

    產(chǎn)品應(yīng)用
     
    用于電真空器件，如磁控管、行波管、回旋管、調(diào)速管等真空排氣。

     
    主要結(jié)構(gòu)與工作方式
     
    ●手工裝料
    ●立式，單工位、多工位
    ●主機(jī)與控柜一體或分開(kāi)設(shè)置
         型號(hào)    
          Mode    
           技術(shù)參數(shù)  
      Technical Data   
    		 P431-2 P436-1 P431-1 P432-1
    主極限真空度
    Ultimate Vacuum    		 ≤2×10-6Pa 10-6Pa ≤3×10-7Pa ≤3×10-8Pa
    烘箱真空
    Baking Chamber Vacuum    		 ≤1×10-1Pa 5 Pa 2 Pa 5 Pa
    烘箱工作空間
    Baking Chamber Dimension    		 Ф500×1200 mm Ф700×700 mm Ф460×500 mm Ф200×1200 mm
    真空系統(tǒng)
    Vacuum System    		 分子泵系統(tǒng)
    Turbo Pump System    		 分子泵系統(tǒng)
    Turbo Pump
     System    		 離子泵系統(tǒng)
    Ion Pump System    		 冷凝泵系統(tǒng)
    Cryopump System
     
    ******溫度
    Max.Temperature    		 650℃ 600℃ 600℃ 600℃
    溫度均勻性（軸向）
    Temperature Uniformity    		 ≤±5℃三點(diǎn)測(cè)溫
    (3 point measurement)    		 ±10℃ ±5℃ ≤±5℃三點(diǎn)測(cè)溫
    (3 point measurement)
    抽氣速度
    Pumping Speed    		 ≥450 L/S ≥450L/S ≥450L/S ≥450L/S
    加熱功率
    Heating Power    		 12 KW 18 KW（10可調(diào)，8固定）
    (10 adjustable,8 fixed)    		 9 KW 10 KW
    總功率
    Total Power    		 15 KW 22 KW 13 KW 15 KW
    加熱方式
    Heating Mode    		 外加熱
    Outside Heating    		 外加熱
    Outside Heating    		 內(nèi)加熱
    Inside Heating    		 內(nèi)加熱
    Inside Heating

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