Virtual VMWT-D 12寸晶圓吸筆頭采用PEEK聚醚醚酮塑料材質(zhì)模塑制造，具有ESD防靜電安全性能，工作溫度可達到100℃，連接在電池式及電動真空吸筆配套使用，或使用空壓吸筆套件的轉(zhuǎn)接頭連接廠務(wù)真空氣源、壓縮空氣來提供持續(xù)吸力，用于拾取轉(zhuǎn)移wafers硅片、Solar Cell太陽能電池、平板。賽浦斯VMWT-D吸筆頭為方形78.74mm x 53.34mm，另有VWT-5R-AR圓形12寸吸筆頭，直徑127mm，可穩(wěn)固處理12" WAFERS。

美國Virtual PEEK吸筆頭及高溫吸頭型號規(guī)格

■ PEEK聚醚醚酮材質(zhì)，模塑加工制成，ESD防靜電，耐溫100℃，頭部厚度0.1寸=2.54mm、手柄長78.74mm

VMWT-A 4寸wafer吸盤：盤面長*寬=35.56mm x 12.70mm，用于4” (100mm) wafers

VMWT-B 6寸吸筆頭：盤面長*寬35.56mm x 33.02mm，拾取轉(zhuǎn)移六寸6” (150mm) wafers晶圓

VMWT-C 8寸吸筆頭：盤面長*寬53.34mm x 35.56mm，拾取八英寸(200mm) wafers

VMWT-D方形12寸吸筆頭：盤面長*寬78.74mm x 53.34mm，可用于拾取12英寸wafers

VWT-5R-AR 12寸圓形吸筆頭：用于薄脆晶圓片拾取轉(zhuǎn)移，外徑127mm，可處理12" 300mm晶圓、硅片、平板

另可選購防止轉(zhuǎn)動的適配頭VMWT-ADAPT-AR：ESD-Safe Anti Rotate Tip Adaptor、VF-40M-5接口過濾器5個一組

特殊擴展型號：

1、彎曲型——VMWT-A/B/C/D型可訂購向下彎曲D或者上彎型U，常規(guī)的彎曲角度有10°、20°、30°，在型號后面加入方向及角度代碼，如：VMWT-A20U表示四寸吸筆頭前端向上彎曲20度，VMWT-D10D 12寸吸筆頭彎曲10度下彎。另可訂購“L”左彎、“R”右彎如VMWT-B20L，或者特殊定制款。

2、加長型——VMWT-B/C/D即6寸、8寸、12寸筆頭可加長連接桿長度，由標準長78.74mm擴展到200mm，對應(yīng)型號分別為VMWT-B-EX200、VMWT-C-EX200、VMWT-D-EX200。

Press-Fit Molded PEEK吸筆頭規(guī)格說明書/download/201812/Virtual_PEEK_VMWT-ABCD.pdf

Virtual晶圓吸筆頭選型文檔/download/201812/Virtual_Wafer_Tips_VMWT.pdf

■ 高溫涂層吸筆頭，耐高溫250℃，筆頭為鋁制陽極氧化材質(zhì)、厚度3.3mm，不銹鋼連接桿長度76.20mm

VWT-100075PF 4寸耐高溫吸筆頭：長寬尺寸(1.05“ x 0.75") 26.67mm x 19.05mm，適用4” (100mm) wafers

VWT-170110PF 6寸耐高溫吸筆頭：長寬尺寸(1.70“ x 1.10") 43.18mm x 27.94mm，用于6” (150mm) wafers

VWT-250125PF 8寸耐高溫吸筆頭，長寬尺寸(2.50“ x 1.25") 63.50mm x 31.75mm，吸取8” (200mm) wafers

與PEEK材質(zhì)一樣支持特殊擴展的彎曲角度、加長連接桿長度

美國Vitual真空晶圓吸筆套裝型號一覽

1、便攜式可移動電池驅(qū)動

VPWE7300AR-MW8八寸真空吸筆，配VMWT-C 8寸筆頭，可現(xiàn)場更換的充電電池，帶電量及安全真空度提示燈

VPW6300-VWT5R-220晶圓吸筆，配VWT-5R-AR圓形吸筆頭，12英寸wafers拾取專用，帶安全真空度操作提示燈

VPW6300AR-MW8晶圓真空吸筆，配8寸PEEK吸筆頭VMWT-C，內(nèi)置電池帶電量提示和操作指示燈

PV4000A-MW4電池式吸筆，配4寸吸盤，一次性9V電池供電，便攜式操作，低成本，可選更換4~12寸頭

PV4300-MW8電池式晶圓吸筆，帶八英寸筆頭，安全真空度操作提示燈，9V電池供電，性價比高

V3200-CLN-MW6六寸晶圓吸筆，內(nèi)置9V電池微型真空發(fā)生器，口袋型設(shè)計，潔凈室標準

2、臺式電動插電型

WVE-9000-MW8八寸晶圓吸筆，條形真空度顯示，確保安全操作安全可靠

AV-5000可調(diào)式真空吸筆，ADJUST-A-VAC® Elite旋鈕調(diào)整吸力主機，保護銦化鎵、氮化鎵等脆弱易碎晶圓

WV-9000-MW8-220插電式經(jīng)濟型版本，可更換4"、6"、8寸、12英寸晶圓吸筆頭

3、晶圓吸筆套件，外接氣源，壓縮空氣或氮氣

VWWB-2A-MW8-1/8真空吸筆套件，配PEEK VMWT-C吸頭，1/8螺紋適配接口

VVSW-MW8空壓型套件，2米1/16寸接口管VCH-1/16-6