等離子源系統

頻  率

13.56MHz  射頻

40KHz  中頻

功  率

0~1000W可調

0-5000W可調

             選 配

真空系統

真空腔體

材質

316L不銹鋼、航空鋁（選配）

腔體內部尺寸（MM）

500*600*500（寬高深)

腔體容積

150L

極板

17層，水平式，活動可調節(jié)

密封性

級焊接密封

泵

泵組

油泵/干泵+羅茨泵組合（選配）

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計

1×105~1×10-1Pa

質量流量計

＜±1% FS

氣路控制

2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調

極限真空

5Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM（可調）

工藝氣體

Ar、N?、O?、H?等等（可選）

控制系統

1、PLC 自動控制；

2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面；

3、配方程序為 0~99；

4、多級權限操作；

5、圖形化曲線圖自動監(jiān)測工藝參數狀態(tài)及錯誤信息；

6、存儲工藝數據及錯誤信息；

7、報警信息提示及追溯；

8、圖形化界面檢測處理參數；

9、自動、手動操作可切換；

10、維護提示緊急停止按鈕；

11、門感應器和真空互鎖；

12、機器運行信號指示；

13、機器運行結束提示；

外觀參數

外形尺寸(MM)

850*1700*1020(寬高深）

重  量

700KG

設施配置

電  力

五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規(guī)范》等國標標準相關規(guī)定

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA

其  它

提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單.