◆ 1. 環(huán)境控制功能（大氣，真空，液體，溫控等）

AFM5300E能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測試環(huán)境，極大大限度減小樣品表面吸附水對(duì)測試的影響，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的物理特性測量。 真空環(huán)境下可以實(shí)現(xiàn)更大范圍的溫度控制。

（zhuanli3857581號(hào)、zhuanli3926638號(hào)）

●大氣中　●液體中　●真空中　●特殊氣氛（流量控制）

●溫度控制 加熱?冷卻(-120～300℃)　高溫(室溫～800℃)

●濕度控制(0～80%)

◆ 2. 簡便操作（綜合型Holder Flange）

通過采用『綜合型Holder Flange開合功能』，樣品和掃描器更換更為方便的同時(shí)，免去了以往環(huán)境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調(diào)整。 也省去測試模式切換時(shí)的支架更換環(huán)節(jié)。

◆ 3. 的高性能

采用了『Swing Cancel功能』，減輕了樣品的浮動(dòng)，降低了漂移。提高了納米分析性能，提升了可信度。

◆ 4. 通過減輕表面吸附水的影響，提高了電氣性能的檢測精度

真空環(huán)境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響，因而實(shí)現(xiàn)高分辨高靈敏的電學(xué)性能分析。