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日立 掃描電子顯微鏡SU3800/SU3900

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹 集優(yōu)異性能、操作簡(jiǎn)便性、多樣化功能于一身 日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性,結(jié)合眾多的自動(dòng)化功能,可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉,可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察。

詳細(xì)介紹



產(chǎn)品介紹:


集優(yōu)異性能、操作簡(jiǎn)便性、多樣化功能于一身

日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性,結(jié)合眾多的自動(dòng)化功能,可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉,可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察。


產(chǎn)品特點(diǎn):


①SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉,可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察

■樣品臺(tái)可搭載超大/超重樣品


       通過更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品

       選配樣品交換倉,可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品,大大提高了工作效率

       具備樣品臺(tái)移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度*

       紅外CCD探測(cè)器,提高了樣品臺(tái)移動(dòng)的安全性

■支持全視野移動(dòng)。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察


       與GUI聯(lián)合,可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)

       覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域

       支持360度旋轉(zhuǎn)



②隨著各種自動(dòng)化功能的強(qiáng)化,操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。

■一個(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡(jiǎn)約GUI

■各種自動(dòng)化功能

       自動(dòng)調(diào)整算法經(jīng)改良后,等待時(shí)間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)

       提高了自動(dòng)聚焦精度

       搭載Intelligent Filament Technology(IFT)

■Multi Zigzag,可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察

■Report Creator,可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告



③可提供滿足測(cè)試需求的應(yīng)用解決方案

■可滿足多種觀察需求的探測(cè)器

       搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察

       高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器,切換成分/凹凸等多種圖像

■配備了多功能超大樣品倉,可以搭載多種配件

>■SEM/EDS一體化功能*

■三維顯示測(cè)量軟件 Hitachi Map 3D*

■支持圖像測(cè)量軟件Image pro

*配件



礦物的觀察分析案例


       顯示了鋯石晶體在相同視野下的觀察結(jié)果。在BSE圖像中很難看清鉻濃度的緩和偏差。但是,在CL圖像中可以確認(rèn)到暗 色區(qū)域是對(duì)應(yīng)于錯(cuò)濃度較高的區(qū)域。




應(yīng)用圖例


金屬材料



陶瓷材料



電子零件



生物/醫(yī)藥品





產(chǎn)品規(guī)格



ITEMSU3800SU3900
二級(jí)電子分解能3.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式)
15.0nm(加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式)
背散射電子分解能4.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式)
倍率×5~×300,000(照片倍率*1)
×7~×800,000(實(shí)際顯示倍率*2)
加速電壓0.3kV~30kV
低真空度設(shè)定6~650Pa
圖像位移±50µm(WD=10mm)
樣品尺寸200mm直徑300mm直徑
樣品臺(tái)
X0~100mm0~150mm
Y0~50mm0~150mm
Z5~65mm5~85mm
R360°連續(xù)
T-20°~+90°
可觀察范圍130mm直徑(R并用)200mm直徑(R并用)
可觀察高度80mm(WD=10mm)130mm(WD=10mm)
電機(jī)驅(qū)動(dòng)5軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)
電子光學(xué)系統(tǒng)
電子槍中心操控式鎢絲發(fā)射
物像鏡頭光圈4孔可動(dòng)光圈
檢測(cè)系統(tǒng)二級(jí)電子檢測(cè)器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器
EDX分析WDWD=10mm(T.O.A=35°)
圖像顯示自動(dòng)光軸調(diào)整功能自動(dòng)光束調(diào)整(AFS→ABA→AFC→ABCC)
自動(dòng)光軸調(diào)整(實(shí)時(shí)級(jí)別對(duì)齊)
自動(dòng)調(diào)整光束亮度
自動(dòng)圖像調(diào)整功能自動(dòng)亮度和對(duì)比度控制(ABCC)
自動(dòng)對(duì)焦控制(AFC)
自動(dòng)標(biāo)記和焦點(diǎn)功能(ASF)
自動(dòng)燈絲飽和度調(diào)整(AFS)
自動(dòng)光束對(duì)準(zhǔn)(ABA)
自動(dòng)啟動(dòng)(HV-ON→ABCC→AFC)
操作輔助功能光機(jī)旋轉(zhuǎn)、動(dòng)態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入(點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量、角度測(cè)量、文本)、預(yù)設(shè)放大、樣品臺(tái)位置導(dǎo)航功能(SEM MAP)、光束標(biāo)記功能
配件■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測(cè)器(UVD)、紅外CCD探測(cè)器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺(tái)移動(dòng)限制解除功能、EDS集成
配件(外部裝置)能量散射X射線分析儀(EDS)、波長色散X射線分析儀(WDS)、各種外部功能臺(tái)(加熱臺(tái)、冷卻臺(tái)、牽引臺(tái))



* 1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm(4x5照片尺寸)的顯示尺寸。


* 2.放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm(1,920 x 1,080像素)的顯示尺寸。


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