當(dāng)廢氣進入光氧等離子一體機凈化設(shè)備內(nèi)時，先經(jīng)過等離子體化學(xué)反應(yīng)過程，即電子先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。(在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿游镔|(zhì)，或使物質(zhì)轉(zhuǎn)變成或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。)

然后部分廢氣再通過破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為無味氣體。采用C波段光線強裂污染氣體分子鏈，改變物質(zhì)分子結(jié)構(gòu)，將高分子污染物質(zhì)裂解、氧化成為低分子物質(zhì)，如水和二氧化碳等。O3強催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 可地殺滅，將物質(zhì)破壞且改變成為低分子物質(zhì)。在C波段激光刺激催化劑涂層產(chǎn)生活性，催化氧化作用。在分解過程中產(chǎn)生高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負(fù)電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進而產(chǎn)生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),臭氧對物具有的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有的效果。O3也為強催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 裂解惡臭氣體中的分子鍵，破壞的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應(yīng)，達到脫臭及殺的目的。